| 查看: 2185 | 回复: 18 | ||
[求助]
求助：磁控溅射制备ZnOS薄膜，重复不出来
|
||
|
用磁控溅射制备ZnOS薄膜，以ZnS为靶材，以Ar和O2分别为工作气体和反应气体，通过改变氧分压调节ZnOS合金中的S含量。 两个月前第一次做实验时，制备出了结晶性较好的合金薄膜。但之后一直无法重复出来，所制备的样品为非晶（XRD上几乎没有信号）。请问有可能是哪些原因引起的？ |
回复此楼» 猜你喜欢
售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急
已经有8人回复
-
售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急
已经有3人回复
-
明天应该可查了！？
已经有5人回复
-
如果此刻你正在为国基感到焦虑，不妨来听听这首《基金之外》
已经有7人回复
-
没有任何消息-是不是就凉了
已经有8人回复
-
售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
人气不行了
已经有10人回复
-
我面上完蛋了
已经有10人回复
-
能否退出参与的面上项目解除限项
已经有24人回复
-
filecode，4个jtjc了
已经有17人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于磁控溅射制备掺杂氧化锌薄膜的一些小问题
已经有3人回复
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
已经有16人回复
- 【求助】磁控反应溅射一短时间后怎么老是腔里面会怕的一声响
已经有7人回复
- 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
已经有12人回复
- 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
已经有20人回复
6楼2012-08-01 07:11:40
2楼2012-07-31 12:32:22
3楼2012-07-31 17:00:12
Smallpeng
木虫 (正式写手)
- 应助: 38 (小学生)
- 金币: 3378.7
- 散金: 303
- 红花: 2
- 帖子: 982
- 在线: 701.7小时
- 虫号: 754345
- 注册: 2009-04-21
- 性别: GG
- 专业: 金属功能材料
4楼2012-07-31 19:57:48
5楼2012-07-31 22:51:21
蒋青松
荣誉版主 (著名写手)
- FPI: 2
- 应助: 108 (高中生)
- 贵宾: 2.984
- 金币: 1651.4
- 散金: 14011
- 红花: 44
- 沙发: 10
- 帖子: 2807
- 在线: 779.8小时
- 虫号: 1004061
- 注册: 2010-04-23
- 性别: GG
- 专业: 光子与光电子器件
- 管辖: 功能材料
7楼2012-08-01 07:38:56
8楼2012-08-01 09:27:43
9楼2012-08-01 09:28:36
10楼2012-08-01 09:30:09
20