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582072

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控反应溅射一短时间后怎么老是腔里面会怕的一声响 已有5人参与

我用直流磁控溅射制备薄膜，以前用一直都很正常，几天没用，后来一用发现在以前的条件下不能起辉（工艺条件都是和以前一样），不知是什么原因造成，而且把功率调大后能起辉，起辉稳定后调回原来的功率，但是溅射一段时间后，真空腔里会隔一段时间啪的一声响（好像是漏电碰火），不知哪位仁兄知道是什么原因造成的，怎么调整。万分感谢！！！
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反应磁控溅射

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1楼 2010-05-21 16:00:03
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理查德森

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我也做磁控溅射 不过没出现过这个情况 你最后在实验之前 清理干净溅射仓 灰尘太多也会有影响  估计有肯能有点漏电 但不知具体怎么个响法
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2楼2010-05-21 21:03:18
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
你所说的是常见问题，不起辉应该是靶材表面氧化或称为靶中毒所致，这时确实加大功率可以起辉，会有响声我觉得是因为靶材中毒，电荷富集后没有及时导走形成高压区域，当电压达到一定程度会击穿，会产生响声。
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3楼2010-05-21 23:16:19
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582072

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by 理查德森 at 2010-05-21 21:03:18:
我也做磁控溅射 不过没出现过这个情况 你最后在实验之前 清理干净溅射仓 灰尘太多也会有影响  估计有肯能有点漏电 但不知具体怎么个响法

刚开始溅射不会，一般溅射一段时间后就会不时的啪的一声，声音还挺大，但是以前都不会这样，不知道究竟是什么原因造成的。
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4楼2010-05-22 07:49:48
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理查德森

新虫 (小有名气)
★
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引用回帖:
Originally posted by 582072 at 2010-05-22 07:49:48:

刚开始溅射不会，一般溅射一段时间后就会不时的啪的一声，声音还挺大，但是以前都不会这样，不知道究竟是什么原因造成的。

那我也不知道了 其实我也是新手 就做过几次
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5楼2010-05-22 18:21:22
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一生追求

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
有段时间不用，可能是腔体和靶材不太干净，你清理一下试试，预溅射时间长点
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认真，谦虚
6楼2010-05-23 12:46:56
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yanzijing

金虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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6楼: Originally posted by 一生追求 at 2010-05-23 12:46:56
有段时间不用，可能是腔体和靶材不太干净，你清理一下试试，预溅射时间长点

借问一下大侠如何清理腔体和靶材呢？
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kakakakakka
7楼2014-05-05 13:03:59
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yanzijing

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 一生追求 at 2010-05-23 12:46:56
有段时间不用，可能是腔体和靶材不太干净，你清理一下试试，预溅射时间长点

借问一下大侠如何清理腔体和靶材呢？
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kakakakakka
8楼2014-05-05 13:05:14
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