| 查看: 1861 | 回复: 7 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
[交流]
【求助】磁控反应溅射一短时间后怎么老是腔里面会怕的一声响 已有5人参与
|
||||
| 我用直流磁控溅射制备薄膜，以前用一直都很正常，几天没用，后来一用发现在以前的条件下不能起辉（工艺条件都是和以前一样），不知是什么原因造成，而且把功率调大后能起辉，起辉稳定后调回原来的功率，但是溅射一段时间后，真空腔里会隔一段时间啪的一声响（好像是漏电碰火），不知哪位仁兄知道是什么原因造成的，怎么调整。万分感谢！！！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 反应磁控溅射 |
» 猜你喜欢
北京航空航天大学26级博士招生-生物医学工程-合成生物学
已经有20人回复
-
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有238人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 反应磁控溅射自偏压太高是问什么？
已经有5人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 磁控溅射与反应磁控溅射
已经有18人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 是否可以在基底上用磁控溅射Cu、Zn、Al然后加热得到晶化的合金结构？
已经有6人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
已经有16人回复
quanten
金虫 (著名写手)
QQ群(NW-FET): 157220400
- 应助: 34 (小学生)
- 金币: 1672.3
- 散金: 204
- 红花: 18
- 帖子: 1055
- 在线: 570.9小时
- 虫号: 478681
- 注册: 2007-12-14
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
3楼2010-05-21 23:16:19
理查德森
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1031.5
- 散金: 100
- 红花: 2
- 帖子: 254
- 在线: 41.6小时
- 虫号: 868078
- 注册: 2009-10-11
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属基复合材料
2楼2010-05-21 21:03:18
4楼2010-05-22 07:49:48
理查德森
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1031.5
- 散金: 100
- 红花: 2
- 帖子: 254
- 在线: 41.6小时
- 虫号: 868078
- 注册: 2009-10-11
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属基复合材料
5楼2010-05-22 18:21:22
