| 查看: 1918 | 回复: 7 | ||||
[交流]
【求助】磁控反应溅射一短时间后怎么老是腔里面会怕的一声响 已有5人参与
|
| 我用直流磁控溅射制备薄膜，以前用一直都很正常，几天没用，后来一用发现在以前的条件下不能起辉（工艺条件都是和以前一样），不知是什么原因造成，而且把功率调大后能起辉，起辉稳定后调回原来的功率，但是溅射一段时间后，真空腔里会隔一段时间啪的一声响（好像是漏电碰火），不知哪位仁兄知道是什么原因造成的，怎么调整。万分感谢！！！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 反应磁控溅射 |
» 猜你喜欢
济南大学国家优青课题组 2026 调剂招生来啦
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高发展好-欢迎各位同学
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有80人回复
-
西华大学 化学 调剂有名额
已经有0人回复
-
上海应用技术大学招生调剂研究生
已经有8人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 反应磁控溅射自偏压太高是问什么？
已经有5人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 磁控溅射与反应磁控溅射
已经有18人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 是否可以在基底上用磁控溅射Cu、Zn、Al然后加热得到晶化的合金结构？
已经有6人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
已经有16人回复
理查德森
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1031.5
- 散金: 100
- 红花: 2
- 帖子: 254
- 在线: 41.6小时
- 虫号: 868078
- 注册: 2009-10-11
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属基复合材料
2楼2010-05-21 21:03:18
quanten
金虫 (著名写手)
QQ群(NW-FET): 157220400
- 应助: 34 (小学生)
- 金币: 1672.3
- 散金: 204
- 红花: 18
- 帖子: 1055
- 在线: 570.9小时
- 虫号: 478681
- 注册: 2007-12-14
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
3楼2010-05-21 23:16:19
4楼2010-05-22 07:49:48
理查德森
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1031.5
- 散金: 100
- 红花: 2
- 帖子: 254
- 在线: 41.6小时
- 虫号: 868078
- 注册: 2009-10-11
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属基复合材料
5楼2010-05-22 18:21:22
一生追求
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 617.1
- 帖子: 415
- 在线: 12.1小时
- 虫号: 977533
- 注册: 2010-03-21
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
6楼2010-05-23 12:46:56
yanzijing
金虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 662.9
- 帖子: 34
- 在线: 51小时
- 虫号: 3173144
- 注册: 2014-04-30
- 性别: GG
- 专业: 其他无机非金属材料
7楼2014-05-05 13:03:59
yanzijing
金虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 662.9
- 帖子: 34
- 在线: 51小时
- 虫号: 3173144
- 注册: 2014-04-30
- 性别: GG
- 专业: 其他无机非金属材料
8楼2014-05-05 13:05:14
