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pll18

木虫 (小有名气)


[交流] 关于磁控溅射制备掺杂氧化锌薄膜的一些小问题

想问下,大家用磁控溅射做氧化锌薄膜时候,都是用的强磁靶装的靶材吗?
我们组的实验设备强磁靶位不能加热基片。
好烦人啊。有什么方法可以解决吗
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sharlly

铁杆木虫 (小有名气)



pll18(金币+1): 谢谢参与
我也有这个疑问
2楼2012-05-14 19:06:48
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pll18

木虫 (小有名气)


问题太小白了吗。。。。没人回复呢。。
3楼2012-05-15 08:29:07
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kingluck

至尊木虫 (文坛精英)



pll18(金币+1): 谢谢参与
靶材冷却效果好的话,基底加热应该不是很大的问题。如果室温薄膜沉积完成后再进行退火处理,效果差多了。
4楼2012-05-16 16:02:33
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