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关于磁控溅射制备掺杂氧化锌薄膜的一些小问题
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想问下，大家用磁控溅射做氧化锌薄膜时候，都是用的强磁靶装的靶材吗？ 我们组的实验设备强磁靶位不能加热基片。  好烦人啊。有什么方法可以解决吗 |
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2楼2012-05-14 19:06:48
问题太小白了吗。。。。没人回复呢。。 
3楼2012-05-15 08:29:07
4楼2012-05-16 16:02:33
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30