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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 关于磁控溅射制备掺杂氧化锌薄膜的一些小问题
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pll18

木虫 (小有名气)

[交流] 关于磁控溅射制备掺杂氧化锌薄膜的一些小问题

想问下，大家用磁控溅射做氧化锌薄膜时候，都是用的强磁靶装的靶材吗？
我们组的实验设备强磁靶位不能加热基片。
好烦人啊。有什么方法可以解决吗
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1楼2012-05-14 18:23:31
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pll18

木虫 (小有名气)
问题太小白了吗。。。。没人回复呢。。
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3楼2012-05-15 08:29:07
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sharlly

铁杆木虫 (小有名气)
★
pll18(金币+1): 谢谢参与
我也有这个疑问
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2楼2012-05-14 19:06:48
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kingluck

至尊木虫 (文坛精英)
★
pll18(金币+1): 谢谢参与
靶材冷却效果好的话，基底加热应该不是很大的问题。如果室温薄膜沉积完成后再进行退火处理，效果差多了。
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4楼2012-05-16 16:02:33
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