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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助：磁控溅射制备ZnOS薄膜，重复不出来
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scuthb

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 游文武 at 2012-07-31 17:00:12
难道是温度

实验条件都一样（包括温度、衬底、溅射功率、气压、氧分压），就是重复不出来
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11楼2012-08-01 09:31:36
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Eric_

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-08-02 07:44:01
既然确定实验条件都一样，那么问题就出在检测手段上。
解决方法：换个地方做XRD！
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

scuthb
12楼2012-08-01 10:15:17
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yaojq73

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-08-02 07:43:31
可能什么因素导致溅射速率过快，或者基片温度过低导致结晶过慢，使溅射速率远高于结晶速率，这样的膜就不是晶态了
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13楼2012-08-01 10:16:31
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by scuthb at 2012-08-01 09:27:43
可控制的参数（温度、气压、氧分压、溅射功率和衬底）都是一样的。测试的话我主要是看XRD，同样的条件下，出现两种极端结果：1、结晶性能很好（只有ZnO的（002）峰）；2、非晶（XRD几乎没有信号）...

我有时候同样条件做出来的样品是有差别，但没你说的这么大，也就很小差别，建议你在做一系列实验看看
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
14楼2012-08-01 11:34:30
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scuthb

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
12楼: Originally posted by Eric_ at 2012-08-01 10:15:17
既然确定实验条件都一样，那么问题就出在检测手段上。
解决方法：换个地方做XRD！

我试试看，谢谢你的建议！
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15楼2012-08-01 11:40:02
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jinlong288

金虫 (正式写手)
★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-08-03 07:43:58
气体分压和基体温度是影响的主要因素
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16楼2012-08-01 14:44:00
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angeli2200

新虫 (小有名气)
还有溅射时的功率呢？
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17楼2012-08-01 16:26:17
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minminqier

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

请教 一下哈，两种比重不同的气体，你是如何控制一种的分压的，谢谢哈
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18楼2012-09-29 09:25:46
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wuzhaofeng

金虫 (正式写手)
靶材有没有换啊？
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19楼2012-10-18 10:42:41
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