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scuthb

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 游文武 at 2012-07-31 17:00:12
难道是温度

实验条件都一样(包括温度、衬底、溅射功率、气压、氧分压),就是重复不出来
11楼2012-08-01 09:31:36
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Eric_

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-08-02 07:44:01
既然确定实验条件都一样,那么问题就出在检测手段上。
解决方法:换个地方做XRD!

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

12楼2012-08-01 10:15:17
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yaojq73

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-08-02 07:43:31
可能什么因素导致溅射速率过快,或者基片温度过低导致结晶过慢,使溅射速率远高于结晶速率,这样的膜就不是晶态了
13楼2012-08-01 10:16:31
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by scuthb at 2012-08-01 09:27:43
可控制的参数(温度、气压、氧分压、溅射功率和衬底)都是一样的。测试的话我主要是看XRD,同样的条件下,出现两种极端结果:1、结晶性能很好(只有ZnO的(002)峰);2、非晶(XRD几乎没有信号)...

我有时候同样条件做出来的样品是有差别,但没你说的这么大,也就很小差别,建议你在做一系列实验看看
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
14楼2012-08-01 11:34:30
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scuthb

新虫 (初入文坛)

送鲜花一朵
引用回帖:
12楼: Originally posted by Eric_ at 2012-08-01 10:15:17
既然确定实验条件都一样,那么问题就出在检测手段上。
解决方法:换个地方做XRD!

我试试看,谢谢你的建议!
15楼2012-08-01 11:40:02
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jinlong288

金虫 (正式写手)


蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-08-03 07:43:58
气体分压和基体温度是影响的主要因素
16楼2012-08-01 14:44:00
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angeli2200

新虫 (小有名气)

还有溅射时的功率呢?
17楼2012-08-01 16:26:17
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minminqier

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

请教 一下哈,两种比重不同的气体,你是如何控制一种的分压的,谢谢哈
18楼2012-09-29 09:25:46
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wuzhaofeng

金虫 (正式写手)

靶材有没有换啊?
19楼2012-10-18 10:42:41
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