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scuthb

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助:磁控溅射制备ZnOS薄膜,重复不出来

用磁控溅射制备ZnOS薄膜,以ZnS为靶材,以Ar和O2分别为工作气体和反应气体,通过改变氧分压调节ZnOS合金中的S含量。
    两个月前第一次做实验时,制备出了结晶性较好的合金薄膜。但之后一直无法重复出来,所制备的样品为非晶(XRD上几乎没有信号)。请问有可能是哪些原因引起的?
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scuthb

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by physdu at 2012-08-01 07:11:40
溅射这东西感觉确实不太好重复,同样的工作条件,确实会重复不出来

请问你碰到过相似的问题吗?解决问题的思路?
10楼2012-08-01 09:30:09
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你确定是严格按照你当时的条件来做?按理说不会啊,机器会不会出问题,测试手段条件是不是不一样?
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
4楼2012-07-31 19:57:48
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Eric_

新虫 (小有名气)

做非晶好,有前途

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
5楼2012-07-31 22:51:21
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physdu

新虫 (初入文坛)


zhaohaixing: 金币+1, 鼓励新虫多作交流~ 2012-08-01 08:54:53
溅射这东西感觉确实不太好重复,同样的工作条件,确实会重复不出来

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
6楼2012-08-01 07:11:40
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