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小虫虫2012金虫 (小有名气)
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[求助]
直流磁控溅射电压变大
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| 直流磁控溅射的锰氧化物靶材，靶材导电性能不好，但是直流可以起辉，而且还很稳定，但是隔了一个月，重新安装了一次靶材之后，再次溅射的时候电压比之前高了一百伏特左右，应该不是表面氧化的原因，因为现在起辉也挺稳定，现在考虑是不是直流源的问题，求问达人们直流源该怎么检查呢？？？ |
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