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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 磁控溅射如何确定电源类型
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qinxuesi

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射如何确定电源类型 已有1人参与

本人将要进行磁控溅射方面的研究，但对其完全是新手，请问一下如何确定磁控溅射电源（直流电源or射频电源等等），比如纯Zn作为靶材应该选择什么电源呢？
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1楼 2015-01-10 21:47:58
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antorr

新虫 (初入文坛)
导电的用直流电源，不导电的用射频电源，您的纯Zn靶用直流电源就可。
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2楼2015-01-12 11:44:54
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yanglei839

金虫 (正式写手)

木虫

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
金属和陶瓷均可用射频，导电用直流

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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hopeisagoodthing........
3楼2015-01-13 19:51:26
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无关想念1234

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by antorr at 2015-01-12 11:44:54
导电的用直流电源，不导电的用射频电源，您的纯Zn靶用直流电源就可。

一看就是行家

[ 发自小木虫客户端 ]
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4楼2015-01-19 22:33:16
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KMMZS

新虫 (初入文坛)
K-mate射频电源可以用，国产的，可以拉动拉动内需呢
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5楼2015-04-27 10:19:23
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