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磁控溅射底座与腔体短路了 怎么解决 已有3人参与
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| 正在镀膜时发现电流为0了，还有电压，初步判定靶材与阳极罩短路了。打开腔体检查后发现是底座与腔体短路了。这种短路应该怎么解决啊 |
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