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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射底座与腔体短路了 怎么解决
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lzy11189

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射底座与腔体短路了 怎么解决 已有3人参与

正在镀膜时发现电流为0了，还有电压，初步判定靶材与阳极罩短路了。打开腔体检查后发现是底座与腔体短路了。这种短路应该怎么解决啊
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磁控溅射靶材资料大全

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1楼 2014-03-03 16:03:38
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lzy11189: 金币+2, ★有帮助 2014-03-06 16:53:48
将靶座的位置调高点呗，不过为什么你们以前不会短路，你用就短路了，是不是有什么东西卡在里面了
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用绳命来搞科研
2楼2014-03-05 14:09:43
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lzy11189

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2014-03-05 14:09:43
将靶座的位置调高点呗，不过为什么你们以前不会短路，你用就短路了，是不是有什么东西卡在里面了

谢谢！设备的底座不能调，但底座与腔体之间有一定厚度的绝缘层。是不是绝缘层被击穿了或者是哪里电路短路了？

[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼2014-03-06 08:03:49
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mjx150: 欢迎到本版交流 2014-03-06 10:56:51
lzy11189: 金币+5, ★有帮助 2014-03-06 16:53:31
底座和腔体应当是连接在一起的，短路应当是你的阳极框和你的靶材碰到了，可以调高阳极框的高度，清洁一下阳极框
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4楼2014-03-06 09:46:41
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lzy11189

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 尘隐土 at 2014-03-06 09:46:41
底座和腔体应当是连接在一起的，短路应当是你的阳极框和你的靶材碰到了，可以调高阳极框的高度，清洁一下阳极框

谢谢！不是阳极框和靶材短路，是靶材和基座和腔体短路。本来是靶材安装在底座上，底座与腔体之间有绝缘层隔开的，所以正常的话靶材与腔体也是绝缘的，而现在靶材与腔体发生短路了，不能起辉了
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5楼2014-03-06 09:54:15
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区
引用回帖:
5楼: Originally posted by lzy11189 at 2014-03-06 09:54:15
谢谢！不是阳极框和靶材短路，是靶材和基座和腔体短路。本来是靶材安装在底座上，底座与腔体之间有绝缘层隔开的，所以正常的话靶材与腔体也是绝缘的，而现在靶材与腔体发生短路了，不能起辉了...

恩，你可以看一下各各接线，把靶座也清理一下，保养一下应当就能用了
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6楼2014-03-06 10:03:21
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wangshaobin

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
mjx150: 金币+1, 欢迎到本版交流，鼓励新虫 2014-03-13 11:13:42
lzy11189: 金币+3, ★有帮助 2014-03-16 15:57:11
不知是圆柱靶还是平面靶？可以加聚四氟材料垫片，隔绝联通；也可能是你镀的金属膜，将靶和壳体联通。
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7楼2014-03-13 10:28:37
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)
重新装靶，靶没装好。
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哈哈哈哈，来吧
8楼2014-08-10 03:46:31
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zxy19871129

铁虫 (初入文坛)
绝缘层上镀上金属了，把绝缘层打磨干净就是了啊
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9楼2014-08-13 00:37:48
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shane713314

新虫 (初入文坛)
我目前也遇到类似的问题，不知道你解决了吗？
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10楼2015-01-02 21:54:45
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