| 查看: 2866 | 回复: 9 | |||
[求助]
磁控溅射底座与腔体短路了 怎么解决 已有3人参与
|
| 正在镀膜时发现电流为0了，还有电压，初步判定靶材与阳极罩短路了。打开腔体检查后发现是底座与腔体短路了。这种短路应该怎么解决啊 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 |
» 猜你喜欢
过年走亲戚时感受到了所开私家车的鄙视链
已经有10人回复
-
今年春晚有几个节目很不错，点赞！
已经有12人回复
-
情人节自我反思：在爱情中有过遗憾吗？
已经有13人回复
-
体制内长辈说体制内绝大部分一辈子在底层，如同你们一样大部分普通教师忙且收入低
已经有12人回复
-
基金正文30页指的是报告正文还是整个申请书
已经有5人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 用磁控溅射镀膜时为什么起辉电压显示为0？是短路了吗？
已经有7人回复
- 磁控溅射可以连续溅射多久，以及氧化铪工艺
已经有12人回复
- 磁控溅射电源问题
已经有11人回复
- 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛
已经有20人回复
- 磁控溅射镀不上去膜！！
已经有14人回复
- Sputter磁控溅射的设置单位问题
已经有9人回复
- 磁控溅射台真空度问题
已经有11人回复
- 磁控溅射设备真空问题
已经有12人回复
- 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
已经有20人回复
- 磁控溅射高真空抽不下去
已经有12人回复
- 磁控溅射腔室内的铝靶变质了 急！急！急！
已经有6人回复
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 磁控溅射ZnO薄膜 真空室污染严重 壁上和底部有好多红蓝条纹
已经有15人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 【求助】请问磁控溅射辐射大吗？
已经有6人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
- 【求助】磁控溅射仪相关
已经有8人回复
- 【求助】磁控溅射真空腔如何清洗
已经有4人回复
钦点木瓜
金虫 (著名写手)
- 应助: 104 (高中生)
- 金币: 2810.4
- 散金: 1690
- 红花: 22
- 帖子: 1584
- 在线: 125.6小时
- 虫号: 1043205
- 注册: 2010-06-17
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2014-03-05 14:09:43
3楼2014-03-06 08:03:49
尘隐土
木虫 (正式写手)
贫困区
- 应助: 19 (小学生)
- 金币: 2954.5
- 红花: 11
- 帖子: 632
- 在线: 332.3小时
- 虫号: 2810346
- 注册: 2013-11-18
- 专业: 光子与光电子器件
4楼2014-03-06 09:46:41
5楼2014-03-06 09:54:15
尘隐土
木虫 (正式写手)
贫困区
- 应助: 19 (小学生)
- 金币: 2954.5
- 红花: 11
- 帖子: 632
- 在线: 332.3小时
- 虫号: 2810346
- 注册: 2013-11-18
- 专业: 光子与光电子器件
6楼2014-03-06 10:03:21
wangshaobin
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 96.3
- 帖子: 17
- 在线: 11.5小时
- 虫号: 2936633
- 注册: 2014-01-17
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属基复合材料
7楼2014-03-13 10:28:37
8楼2014-08-10 03:46:31
zxy19871129
铁虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 20.8
- 帖子: 10
- 在线: 1.3小时
- 虫号: 3363789
- 注册: 2014-08-13
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
9楼2014-08-13 00:37:48
10楼2015-01-02 21:54:45