应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射底座与腔体短路了 怎么解决
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
101/1返回列表
查看: 2944  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

lzy11189

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射底座与腔体短路了 怎么解决 已有3人参与

正在镀膜时发现电流为0了，还有电压，初步判定靶材与阳极罩短路了。打开腔体检查后发现是底座与腔体短路了。这种短路应该怎么解决啊
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-03-03 16:03:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lzy11189: 金币+2, ★有帮助 2014-03-06 16:53:48
将靶座的位置调高点呗，不过为什么你们以前不会短路，你用就短路了，是不是有什么东西卡在里面了
赞一下 回复此楼
用绳命来搞科研
2楼2014-03-05 14:09:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lzy11189

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2014-03-05 14:09:43
将靶座的位置调高点呗，不过为什么你们以前不会短路，你用就短路了，是不是有什么东西卡在里面了

谢谢！设备的底座不能调，但底座与腔体之间有一定厚度的绝缘层。是不是绝缘层被击穿了或者是哪里电路短路了？

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
3楼2014-03-06 08:03:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mjx150: 欢迎到本版交流 2014-03-06 10:56:51
lzy11189: 金币+5, ★有帮助 2014-03-06 16:53:31
底座和腔体应当是连接在一起的，短路应当是你的阳极框和你的靶材碰到了，可以调高阳极框的高度，清洁一下阳极框
赞一下 回复此楼
4楼2014-03-06 09:46:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lzy11189

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 尘隐土 at 2014-03-06 09:46:41
底座和腔体应当是连接在一起的，短路应当是你的阳极框和你的靶材碰到了，可以调高阳极框的高度，清洁一下阳极框

谢谢！不是阳极框和靶材短路，是靶材和基座和腔体短路。本来是靶材安装在底座上，底座与腔体之间有绝缘层隔开的，所以正常的话靶材与腔体也是绝缘的，而现在靶材与腔体发生短路了，不能起辉了
赞一下 回复此楼
5楼2014-03-06 09:54:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区
引用回帖:
5楼: Originally posted by lzy11189 at 2014-03-06 09:54:15
谢谢！不是阳极框和靶材短路，是靶材和基座和腔体短路。本来是靶材安装在底座上，底座与腔体之间有绝缘层隔开的，所以正常的话靶材与腔体也是绝缘的，而现在靶材与腔体发生短路了，不能起辉了...

恩，你可以看一下各各接线，把靶座也清理一下，保养一下应当就能用了
赞一下 回复此楼
6楼2014-03-06 10:03:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangshaobin

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
mjx150: 金币+1, 欢迎到本版交流，鼓励新虫 2014-03-13 11:13:42
lzy11189: 金币+3, ★有帮助 2014-03-16 15:57:11
不知是圆柱靶还是平面靶？可以加聚四氟材料垫片，隔绝联通；也可能是你镀的金属膜，将靶和壳体联通。
赞一下 回复此楼
7楼2014-03-13 10:28:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jeremyfrc

木虫 (正式写手)
重新装靶，靶没装好。
赞一下 回复此楼
哈哈哈哈，来吧
8楼2014-08-10 03:46:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zxy19871129

铁虫 (初入文坛)
绝缘层上镀上金属了，把绝缘层打磨干净就是了啊
赞一下 回复此楼
9楼2014-08-13 00:37:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shane713314

新虫 (初入文坛)
我目前也遇到类似的问题，不知道你解决了吗？
赞一下 回复此楼
10楼2015-01-02 21:54:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lzy11189 的主题更新
101/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 385分 生物学（071000）求调剂 +11 qf626 2026-04-01 11/550 2026-04-05 17:35 by Ecowxq666！
[考研] 271分求调剂学校 +12 zph158488！ 2026-04-02 13/650 2026-04-05 10:13 by lqwchd
[考研] 085600，321分求调剂 +10 大馋小子 2026-04-04 11/550 2026-04-05 08:25 by 544594351
[考研] 311分 22408 求调剂 +3 bing_bot 2026-04-03 3/150 2026-04-05 00:43 by chongya
[考研] 283分求调剂 +7 小聂爱学习 2026-04-03 7/350 2026-04-04 21:51 by hemengdong
[考研] 387求调剂 +4 爱吃片豆土 2026-04-03 5/250 2026-04-04 08:10 by 岸上的一条鱼
[考研] 考研调剂 +8 不爱喝饮料 2026-04-03 8/400 2026-04-03 16:40 by Mistake-J
[考研] 293求调剂 +5 末未mm 2026-04-02 6/300 2026-04-03 15:20 by 王保杰33
[考研] 求调剂机会 +5 意染ivy 2026-04-03 5/250 2026-04-03 15:13 by qoooooo614
[考研] 309求调剂 +14 呆菇不是戴夫 2026-04-02 14/700 2026-04-03 09:42 by 蓝云思雨
[考研] 372分材料与化工（085600）一志愿湖南大学求调剂 +5 蓝笺片 2026-04-02 6/300 2026-04-02 21:37 by dongzh2009
[考研] 0856初试324分求调剂 +6 想上学求调 2026-04-01 6/300 2026-04-02 11:42 by 星空星月
[考研] 0805求调剂 +8 是水分 2026-03-31 8/400 2026-04-02 10:46 by guanxin1001
[考研] 303分 0807学硕求调剂 +3 TYC3632 2026-04-01 3/150 2026-04-01 19:24 by lwk2004
[考研] 349求调剂 +6 吃的不少 2026-04-01 6/300 2026-04-01 17:55 by JYD2011
[考研] 358求调剂 +3 王向阳花 2026-03-31 3/150 2026-04-01 09:56 by zzchen2000
[考研] 【调剂】一志愿厦大生物与医药调剂 +3 Echo虾米 2026-03-31 3/150 2026-04-01 08:40 by JourneyLucky
[考研] 吉大生物学326分求调剂 +3 sunnyupup 2026-03-31 3/150 2026-03-31 09:28 by longlotian
[考研] 抱歉 +3 田洪有 2026-03-30 3/150 2026-03-30 19:11 by 迷糊CCPs
[考研] 293求调剂 +3 末未mm 2026-03-30 5/250 2026-03-30 17:23 by 王保杰33
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭