24小时热门版块排行榜    

查看: 2886  |  回复: 9

lzy11189

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射底座与腔体短路了 怎么解决 已有3人参与

正在镀膜时发现电流为0了,还有电压,初步判定靶材与阳极罩短路了。打开腔体检查后发现是底座与腔体短路了。这种短路应该怎么解决啊
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
lzy11189: 金币+2, 有帮助 2014-03-06 16:53:48
将靶座的位置调高点呗,不过为什么你们以前不会短路,你用就短路了,是不是有什么东西卡在里面了
用绳命来搞科研
2楼2014-03-05 14:09:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lzy11189

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2014-03-05 14:09:43
将靶座的位置调高点呗,不过为什么你们以前不会短路,你用就短路了,是不是有什么东西卡在里面了

谢谢!设备的底座不能调,但底座与腔体之间有一定厚度的绝缘层。是不是绝缘层被击穿了或者是哪里电路短路了?

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2014-03-06 08:03:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
mjx150: 欢迎到本版交流 2014-03-06 10:56:51
lzy11189: 金币+5, 有帮助 2014-03-06 16:53:31
底座和腔体应当是连接在一起的,短路应当是你的阳极框和你的靶材碰到了,可以调高阳极框的高度,清洁一下阳极框
4楼2014-03-06 09:46:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lzy11189

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 尘隐土 at 2014-03-06 09:46:41
底座和腔体应当是连接在一起的,短路应当是你的阳极框和你的靶材碰到了,可以调高阳极框的高度,清洁一下阳极框

谢谢!不是阳极框和靶材短路,是靶材和基座和腔体短路。本来是靶材安装在底座上,底座与腔体之间有绝缘层隔开的,所以正常的话靶材与腔体也是绝缘的,而现在靶材与腔体发生短路了,不能起辉了
5楼2014-03-06 09:54:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

引用回帖:
5楼: Originally posted by lzy11189 at 2014-03-06 09:54:15
谢谢!不是阳极框和靶材短路,是靶材和基座和腔体短路。本来是靶材安装在底座上,底座与腔体之间有绝缘层隔开的,所以正常的话靶材与腔体也是绝缘的,而现在靶材与腔体发生短路了,不能起辉了...

恩,你可以看一下各各接线,把靶座也清理一下,保养一下应当就能用了
6楼2014-03-06 10:03:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangshaobin

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
mjx150: 金币+1, 欢迎到本版交流,鼓励新虫 2014-03-13 11:13:42
lzy11189: 金币+3, 有帮助 2014-03-16 15:57:11
不知是圆柱靶还是平面靶?可以加聚四氟材料垫片,隔绝联通;也可能是你镀的金属膜,将靶和壳体联通。
7楼2014-03-13 10:28:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jeremyfrc

木虫 (正式写手)

重新装靶,靶没装好。
哈哈哈哈,来吧
8楼2014-08-10 03:46:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zxy19871129

铁虫 (初入文坛)

绝缘层上镀上金属了,把绝缘层打磨干净就是了啊
9楼2014-08-13 00:37:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shane713314

新虫 (初入文坛)

我目前也遇到类似的问题,不知道你解决了吗?
10楼2015-01-02 21:54:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lzy11189 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 327求调剂 +6 拾光任染 2026-03-15 11/550 2026-03-15 22:47 by 拾光任染
[考研] 东南大学364求调剂 +3 JasonYuiui 2026-03-15 3/150 2026-03-15 18:57 by 无际的草原
[考研] 321求调剂 +3 大米饭! 2026-03-15 3/150 2026-03-15 17:48 by 哈哈哈哈嘿嘿嘿
[考研] 0703化学调剂 290分有科研经历,论文在投 +3 腻腻gk 2026-03-14 3/150 2026-03-15 17:28 by 小物理化学
[考研] 268求调剂 +5 一定有学上- 2026-03-14 6/300 2026-03-14 22:20 by 运气yunqi
[考研] 材料与化工 一志愿山大 321分 求调剂 +7 每天散步 2026-03-09 8/400 2026-03-14 02:18 by JourneyLucky
[考研] 求调剂! +4 朔朔话 2026-03-09 4/200 2026-03-14 01:38 by JourneyLucky
[考研] 一志愿郑大070303,338分,求调剂 +4 dadawaf 2026-03-10 5/250 2026-03-14 01:20 by lsw010101
[考研] 一志愿湖师大化学289求调剂 +6 XMCMM3.14159 2026-03-10 6/300 2026-03-14 00:28 by JourneyLucky
[考研] 332求调剂 +3 zjy101327 2026-03-11 6/300 2026-03-13 22:48 by JourneyLucky
[考研] 337一志愿华南理工0805材料求调剂 +7 mysdl 2026-03-11 9/450 2026-03-13 22:43 by JourneyLucky
[考研] 333求调剂 +3 球球古力 2026-03-11 3/150 2026-03-13 21:27 by JourneyLucky
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +8 困于星晨 2026-03-12 10/500 2026-03-13 15:42 by ms629
[考研] 304求调剂(085602一志愿985) +12 化工人999 2026-03-09 12/600 2026-03-13 12:02 by JourneyLucky
[考研] 0817化学工程与技术考研312分调剂 +3 T123 tt 2026-03-12 3/150 2026-03-13 10:49 by houyaoxu
[考研] 求调剂 资源与环境 285 +3 未名考生 2026-03-10 3/150 2026-03-13 10:31 by houyaoxu
[考研] 工科0856专硕化学工程269能调剂吗 +10 我想读研11 2026-03-10 10/500 2026-03-13 10:14 by Yuyi.
[考研] 420求调剂 +4 莫向外求11 2026-03-10 6/300 2026-03-12 14:41 by ruiyingmiao
[考研] 大连大学化学专业研究生调剂 +3 琪久. 2026-03-10 8/400 2026-03-11 10:02 by 琪久.
[考研] 294 英二数二物化 求调剂 +6 米饭团不好吃 2026-03-09 6/300 2026-03-09 23:55 by barlinike
信息提示
请填处理意见