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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射真空腔如何清洗
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yjyang07

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】磁控溅射真空腔如何清洗 已有1人参与

问大侠们：磁控溅射真空腔如何清洗？有没有哪家公司可以做这个？并且还可以到现场的，不要我们把腔送过去的那种。？？
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天行健，君子以自强不息～～～～～
1楼 2010-02-01 19:33:01
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★ ★ ★
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小木虫:)(金币+1):3q 2010-02-02 17:37
tongling921(金币+1):3x 2010-02-02 23:39
喷砂。以后可在容许的部位垫衬铝箔什么的。
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没有困难创造困难也要上网。
2楼2010-02-01 22:02:32
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nrzhang

金虫 (小有名气)
★
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用衬垫。
清洗的时候，
就清洗衬垫，如打磨、电解等。
引用回帖:
Originally posted by yjyang07 at 2010-02-01 19:33:01:
问大侠们：磁控溅射真空腔如何清洗？有没有哪家公司可以做这个？并且还可以到现场的，不要我们把腔送过去的那种。？？

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3楼2010-02-03 08:14:32
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wukeyi28

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
能拆下来的衬板 喷砂
需要保护的地方用 锡箔纸包上
拆不下来的 用砂纸打磨 清洗
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4楼2010-02-03 10:02:14
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zck1214

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by wukeyi28 at 2010-02-03 10:02:14:
能拆下来的衬板 喷砂
需要保护的地方用 锡箔纸包上
拆不下来的 用砂纸打磨 清洗

这样清洗花多长时间啊？
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Interfacestudy,electrolytes,electrochemicalenergystroage
5楼2010-08-24 14:49:57
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