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有用“沈阳科仪的JGP-450A型高真空磁控溅射系统”的?请进来讨论 已有6人参与
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| 我是新手,刚开始做实验,用的是“中科院沈阳科仪的JGP-450A型高真空磁控溅射系统”来镀膜,机器的气路系统有两路,流量控制为一路100sccm,一路200sccm。当我分别通入两种气体时发现有一路是有小数点显示,另一路却没有,这是怎么回事?我又要怎么控制两路气体的流量比呢? |
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