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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 有用“沈阳科仪的JGP-450A型高真空磁控溅射系统”的？请进来讨论
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)

[交流] 有用“沈阳科仪的JGP-450A型高真空磁控溅射系统”的？请进来讨论 已有6人参与

我是新手，刚开始做实验，用的是“中科院沈阳科仪的JGP-450A型高真空磁控溅射系统”来镀膜，机器的气路系统有两路，流量控制为一路100sccm，一路200sccm。当我分别通入两种气体时发现有一路是有小数点显示，另一路却没有，这是怎么回事？我又要怎么控制两路气体的流量比呢？
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1楼 2011-04-06 10:14:16
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380677864

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
zhaohaixing(金币+1): 谢谢回答~ 2011-04-07 12:37:12
是不是两个流量计不一样啊，我用过这个仪器，没有你说的这个情况。你看看两个表精度一样吗
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2楼2011-04-06 20:48:42
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)
l是啊，两路流量范围不同，一路100sccm，一路200sccm。
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3楼2011-04-07 09:09:10
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380677864

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by 攻克难点 at 2011-04-07 09:09:10:
l是啊，两路流量范围不同，一路100sccm，一路200sccm。

两个表的精度呢？
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4楼2011-04-07 18:50:35
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)
这个说明书上没指出，如果一路读数为04.0我就认为流量为4sccm  ，一路读数为006就是6sccm，请问这样的话我是不是可以说两路气体流量比为4:6呢？
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5楼2011-04-07 19:15:38
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xqzhang56

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
范围不一样，精度不一样。
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6楼2011-04-08 14:50:48
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)
现在比较头疼的是我那样设的是不是就算是控制了两路气体的流量比了？
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7楼2011-04-09 08:26:15
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)
打个电话问问厂家
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8楼2011-04-15 16:41:01
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68377605

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
像这种问题，就该直接问厂家。从你老是那里联系到买这台仪器的人，再联系他们公司的工程师
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9楼2011-04-15 21:23:17
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)
刚好仪器坏了，送修时真问了，人家竟然也不清楚，我都服了....
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10楼2011-04-17 16:44:44
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