24小时热门版块排行榜    

查看: 1986  |  回复: 11
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

攻克难点

铁虫 (初入文坛)

[交流] 有用“沈阳科仪的JGP-450A型高真空磁控溅射系统”的?请进来讨论 已有6人参与

我是新手,刚开始做实验,用的是“中科院沈阳科仪的JGP-450A型高真空磁控溅射系统”来镀膜,机器的气路系统有两路,流量控制为一路100sccm,一路200sccm。当我分别通入两种气体时发现有一路是有小数点显示,另一路却没有,这是怎么回事?我又要怎么控制两路气体的流量比呢?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

攻克难点

铁虫 (初入文坛)

l是啊,两路流量范围不同,一路100sccm,一路200sccm。
3楼2011-04-07 09:09:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

攻克难点

铁虫 (初入文坛)

这个说明书上没指出,如果一路读数为04.0我就认为流量为4sccm  ,一路读数为006就是6sccm,请问这样的话我是不是可以说两路气体流量比为4:6呢?
5楼2011-04-07 19:15:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

攻克难点

铁虫 (初入文坛)

现在比较头疼的是我那样设的是不是就算是控制了两路气体的流量比了?
7楼2011-04-09 08:26:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

攻克难点

铁虫 (初入文坛)

刚好仪器坏了,送修时真问了,人家竟然也不清楚,我都服了....
10楼2011-04-17 16:44:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

攻克难点

铁虫 (初入文坛)

幸好还不错的厂家啊,后来又打电话过来说可以用我说的那么算....
11楼2011-04-18 10:20:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 攻克难点 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
信息提示
请填处理意见