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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 沈科仪与沈阳科友的磁控溅射比较，特别是售后，维修，用过的童鞋帮忙了
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匿名

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1楼 2012-08-28 16:06:07
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luobingwei

木虫 (著名写手)
我们用的沈科仪的，第一年全部换了，但是后来好像没有怎么坏过，还行吧，至于沈科友就不清楚了！
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2楼2012-08-29 00:24:21
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wwwhww

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 奖励一个BB，鼓励新虫来本版交流 2012-08-29 18:29:08
沈阳科仪的还是不错的，但是注意一定要他们不用他们自己的射频电源，做得太差，不过他们的真空做得真是非常好。
你也可以联系联系北京金盛微纳的，也不错，比较便宜，质量也不错。
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3楼2012-08-29 17:31:35
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spxjyemrl

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
电源就用AE的好些，自动匹配做的挺好，很方便。至于科仪、科友硬件差不多。
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4楼2012-08-30 08:10:42
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匿名

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5楼2012-08-30 13:42:32
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匿名

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6楼2012-08-30 13:44:29
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mosleo

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
还是用科仪的产品吧，毕竟比较成熟，售后也还不错。
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7楼2012-08-30 18:27:09
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BOBOLI11

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
ybsyh3: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-09-14 10:23:25
1、选用沈科仪，沈科仪的设备不仅供应给学校，很多私营公司也使用他的设备，如深圳彩煌、捷佳创等新能源公司，他们是当生产设备使用，产品质量和售后要求严格。
2、射频电源要求用好的，但不一定是AE的最佳，我们原来使用AE的，后面验机时改用SMITCH(或SMITH)射频电源，在匹配时SMITCH更好匹配，价钱比AE的还便宜，电源不一定要通过沈科仪买，自己找深圳溢达兴购买600W或1000W射频电源GR1310，叫沈科仪安装就可以了。
3、磁控溅射很多公司能做，但很多公司连基本的研发仪器都没有，很难确定放电是均匀。
4、希望能帮到您。
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8楼2013-09-13 14:48:44
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FLY_Phoenix

荣誉版主 (职业作家)

小木虫归隐传道士
中科院微电子所有磁控溅射和射频电源，他们是自主研发的，价格应该不会贵。我去参观过他们净化间，有需要可帮你探听下哈。
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夫君子之行，静以修身，俭以养德，非淡泊无以明志，非宁静无以致远。
9楼2014-01-04 22:56:21
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匿名

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10楼2014-01-05 14:10:03
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