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FLY_Phoenix

荣誉版主 (职业作家)

小木虫归隐传道士

中科院微电子所有磁控溅射和射频电源,他们是自主研发的,价格应该不会贵。我去参观过他们净化间,有需要可帮你探听下哈。
夫君子之行,静以修身,俭以养德,非淡泊无以明志,非宁静无以致远。
9楼2014-01-04 22:56:21
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luobingwei

木虫 (著名写手)

我们用的沈科仪的,第一年全部换了,但是后来好像没有怎么坏过,还行吧,至于沈科友就不清楚了!
2楼2012-08-29 00:24:21
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wwwhww

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 奖励一个BB,鼓励新虫来本版交流 2012-08-29 18:29:08
沈阳科仪的还是不错的,但是注意一定要他们不用他们自己的射频电源,做得太差,不过他们的真空做得真是非常好。
你也可以联系联系北京金盛微纳的,也不错,比较便宜,质量也不错。
3楼2012-08-29 17:31:35
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spxjyemrl

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
电源就用AE的好些,自动匹配做的挺好,很方便。至于科仪、科友硬件差不多。
4楼2012-08-30 08:10:42
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