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匿名

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luobingwei

木虫 (著名写手)

我们用的沈科仪的,第一年全部换了,但是后来好像没有怎么坏过,还行吧,至于沈科友就不清楚了!
2楼2012-08-29 00:24:21
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wwwhww

铜虫 (正式写手)

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nofrunolif: 金币+1, 奖励一个BB,鼓励新虫来本版交流 2012-08-29 18:29:08
沈阳科仪的还是不错的,但是注意一定要他们不用他们自己的射频电源,做得太差,不过他们的真空做得真是非常好。
你也可以联系联系北京金盛微纳的,也不错,比较便宜,质量也不错。
3楼2012-08-29 17:31:35
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spxjyemrl

木虫 (著名写手)

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感谢参与,应助指数 +1
电源就用AE的好些,自动匹配做的挺好,很方便。至于科仪、科友硬件差不多。
4楼2012-08-30 08:10:42
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匿名

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5楼2012-08-30 13:42:32
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匿名

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6楼2012-08-30 13:44:29
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mosleo

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还是用科仪的产品吧,毕竟比较成熟,售后也还不错。
7楼2012-08-30 18:27:09
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BOBOLI11

新虫 (初入文坛)

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★ ★ ★ ★ ★
ybsyh3: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-09-14 10:23:25
1、选用沈科仪,沈科仪的设备不仅供应给学校,很多私营公司也使用他的设备,如深圳彩煌、捷佳创等新能源公司,他们是当生产设备使用,产品质量和售后要求严格。
2、射频电源要求用好的,但不一定是AE的最佳,我们原来使用AE的,后面验机时改用SMITCH(或SMITH)射频电源,在匹配时SMITCH更好匹配,价钱比AE的还便宜,电源不一定要通过沈科仪买,自己找深圳溢达兴购买600W或1000W射频电源GR1310,叫沈科仪安装就可以了。
3、磁控溅射很多公司能做,但很多公司连基本的研发仪器都没有,很难确定放电是均匀。
4、希望能帮到您。
8楼2013-09-13 14:48:44
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FLY_Phoenix

荣誉版主 (职业作家)

小木虫归隐传道士

中科院微电子所有磁控溅射和射频电源,他们是自主研发的,价格应该不会贵。我去参观过他们净化间,有需要可帮你探听下哈。
君子使物,不为物使
9楼2014-01-04 22:56:21
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匿名

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10楼2014-01-05 14:10:03
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