应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 磁控溅射低真空计异常求助
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 1286  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

十点人来疯

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射低真空计异常求助 已有1人参与

大家好，我最近在做磁控溅射镀膜。我们的镀膜机是沈科仪的，最近在抽真空的时候遇到了一些异常。详情如下：

我一般是机械泵抽真空到5pa（低真空计显示）以下，开始抽高真空。分子泵开始工作后，低真空计示数立马就下降了，到0.2pa左右，正常情况是稳定在0.2pa不动的，但是最近抽高真空一段时间后低真空计示数就慢慢往上升了，差不多5个小时后低真空计显示为0.3pa，不太明白这是为什么。

另外一个问题是在溅射过程中，我的低真空计最多只能显示到0.5pa，这样如果工作气压为0.4pa就做不了了。


最后一个问题是关于漏真空的，一般我晚上抽真空到8.4×10-4pa，第二天早上来，漏真空为7.1pa，请问这个漏气速度很快吗。

我刚刚接手这个设备，很多问题都没搞明白
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-11-22 15:10:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zyjllyl

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1）真空计的显示是有一定范围的，低真空计在0.5pa左右已经算是极限位置，其本身的显示误差就比较大一些的，个人认为0.2pa变到0.3pa不能说明有其它相关的问题；
2）可以同时开启高真空计，将两个真空计对应记录作为参照确定实验过程的工作压力，另外如果真空度能够进入10-4pa量级，其中你的工艺气体的流量一定的情况下，应该是比较稳定的。不会相差0.1pa的情况呀，另外，如果确实相差这么多则根据你自己的实验要求衡量是否可以继续做实验；
3）这样的漏率相对差了一点，但是还是可以接收的。
赞一下 回复此楼
2楼2013-11-24 23:25:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

十点人来疯

银虫 (小有名气)
感谢你的回复！   问题答案仍然在摸索当中。
赞一下 回复此楼
3楼2013-11-25 08:45:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

vion_zy

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

1.电阻规零点漂移，调一下零点九可以了。我们一直不建议用电阻规来测量沉积气压，因为那个数据不具备任何的可靠性和可参考性。真正想获得一个更可靠的参数数据的话，你可以加一个皮拉尼规。
2.如果你溅射时的工艺气体没有含氧的或者腐蚀性气体的话，0.xPa的气压你完全可以用电离规来测量，在0.xPa范围内，电阻规的精度完全不可靠，相差几倍都是有可能的。
3.设备漏率还行，不是特别高，一般在5Pa以下都算正常。你的设备应该不是漏，我觉得你应该把真空度好好清洁一下了。
赞一下 回复此楼
4楼2014-02-23 14:44:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

guanrenhe

新虫 (初入文坛)
最后一个问题，如果是泵关掉保压的话，真空度一夜升为7.1Pa。应该不算差吧。
赞一下 回复此楼
5楼2014-07-17 15:18:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 十点人来疯 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿211，0703化学305分求调剂 +14 严西西戏 2026-04-06 16/800 2026-04-08 07:01 by MOF_Catal
[考研] 计算机408｜在校多次国家级竞赛获奖｜申请调剂 +4 东山大白鹅 2026-04-05 4/200 2026-04-08 00:18 by chongya
[考研] 化学工程调剂289 +22 yang婷 2026-04-07 23/1150 2026-04-07 22:49 by 来看流星雨10
[考研] 材料考研求调剂总分280 +23 mkjlz1 2026-04-06 26/1300 2026-04-07 15:58 by 啊俊！
[考研] 复试调剂 +9 春日来信- 2026-04-03 9/450 2026-04-07 15:17 by 尽舜尧1
[考研] 一志愿华中农业大学0710（A）初试329分 求调剂 +5 一名26考研生 2026-04-04 5/250 2026-04-07 08:54 by 18828373951
[考研] 08600生物与医药-327 +9 18755400796 2026-04-05 9/450 2026-04-06 22:35 by 52305043001
[考研] 生物学调剂 可调剂到生物与医药 +3 李政莹 2026-04-06 3/150 2026-04-06 19:02 by macy2011
[考研] 385分 生物学（071000）求调剂 +12 qf626 2026-04-01 12/600 2026-04-06 17:36 by 52305043001
[考研] 调剂求助 +10 想换手机不想解� 2026-04-02 13/650 2026-04-05 09:41 by sam3303
[考研] 材料与化工306分找调剂 +12 沧海轻舟e 2026-04-03 13/650 2026-04-04 23:45 by lqwchd
[考研] 316求调剂 +9 墨辰_Orion926 2026-04-04 9/450 2026-04-04 21:35 by lbsjt
[考研] 333求调剂 +12 wfh030413@ 2026-04-03 13/650 2026-04-04 21:02 by jj987
[考研] 材料科学与工程考研 +10 拯救皮特托先生 2026-04-02 10/500 2026-04-03 23:57 by userper
[考研] 085601一志愿北理325分求调剂 +6 找调剂，， 2026-04-02 6/300 2026-04-03 22:20 by 柟�?
[考研] 315分 085602 求调剂 +15 26考研上岸版26 2026-04-02 15/750 2026-04-03 12:45 by xingguangj
[考研] 312 化工或制药调剂 +8 小小墨123 2026-04-02 9/450 2026-04-03 09:12 by zhouxiaoyu
[考研] 考研调剂 +3 李木子0120 2026-04-02 5/250 2026-04-02 21:45 by dongzh2009
[考研] 321求调剂 一志愿 浙江工业大学生物医药 +5 嘿嘿HC 2026-04-01 6/300 2026-04-02 15:23 by sophie2180
[考研] 266求调剂 +4 学员97LZgn 2026-04-02 4/200 2026-04-02 13:03 by yulian1987
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭