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mingliwiner

木虫 (著名写手)

立哥

[求助] 求助:磁控溅射的Mo薄膜裂纹很多是什么原因啊

磁控溅射的Mo薄膜做SEM裂纹很多,是什么原因啊?
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likai196

铁虫 (小有名气)

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qiqiqiqi: , 鼓励积极回贴交流 2012-04-20 22:40:21
mingliwiner: 金币+1, 有帮助 2012-04-22 19:02:00
基底是什么?如果是玻璃的话,可能是由于二者的热胀系数不同导致的。溅射完有没有后续处理?如热处理什么的  也可能与功率有关
2楼2012-04-20 22:13:39
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xiaopanky

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
mingliwiner: 金币+1 2012-04-22 19:02:17
可能是钼膜镀的太厚,或者是基底材料表面不洁,不平整。
模拟电路设计
3楼2012-04-21 10:45:31
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fuyadong01

禁虫 (小有名气)

★ ★
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mingliwiner: 金币+2, 有帮助 2012-04-22 19:02:32
本帖内容被屏蔽

4楼2012-04-21 11:17:31
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jiangdyj

木虫 (正式写手)

我也来学习一下
我的空间,http://jackjing.lingd.net
5楼2012-04-21 11:36:22
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kunxu

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


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mingliwiner: 金币+1, 有帮助 2012-04-22 19:02:45
会不会真空度不够? 这个做电子束溅射的时候真空度不够就有裂纹
6楼2012-04-21 16:02:33
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iwill1k

铜虫 (小有名气)

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mingliwiner: 金币+1, 有帮助 2012-04-24 20:29:08
很有可能是镀膜时间太长了吧,我们实验室就有镀膜5小时之后膜开裂的~
7楼2012-04-24 13:44:07
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