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mingliwiner

木虫 (著名写手)

立哥

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[求助] 求助：磁控溅射的Mo薄膜裂纹很多是什么原因啊

磁控溅射的Mo薄膜做SEM裂纹很多，是什么原因啊？

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1楼2012-04-20 20:08:26

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likai196

铁虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
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【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
qiqiqiqi: , 鼓励积极回贴交流 2012-04-20 22:40:21
mingliwiner: 金币+1, ★有帮助 2012-04-22 19:02:00

基底是什么？如果是玻璃的话，可能是由于二者的热胀系数不同导致的。溅射完有没有后续处理？如热处理什么的也可能与功率有关

2楼2012-04-20 22:13:39

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