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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助：磁控溅射的Mo薄膜裂纹很多是什么原因啊
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mingliwiner

木虫 (著名写手)

立哥

[求助] 求助：磁控溅射的Mo薄膜裂纹很多是什么原因啊

磁控溅射的Mo薄膜做SEM裂纹很多，是什么原因啊？
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1楼 2012-04-20 20:08:26
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likai196

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
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qiqiqiqi: , 鼓励积极回贴交流 2012-04-20 22:40:21
mingliwiner: 金币+1, ★有帮助 2012-04-22 19:02:00
基底是什么？如果是玻璃的话，可能是由于二者的热胀系数不同导致的。溅射完有没有后续处理？如热处理什么的  也可能与功率有关
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2楼2012-04-20 22:13:39
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xiaopanky

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
mingliwiner: 金币+1 2012-04-22 19:02:17
可能是钼膜镀的太厚，或者是基底材料表面不洁，不平整。
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模拟电路设计
3楼2012-04-21 10:45:31
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fuyadong01

禁虫 (小有名气)
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mingliwiner: 金币+2, ★有帮助 2012-04-22 19:02:32
本帖内容被屏蔽
4楼2012-04-21 11:17:31
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jiangdyj

木虫 (正式写手)
我也来学习一下
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我的空间，http://jackjing.lingd.net
5楼2012-04-21 11:36:22
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kunxu

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
mingliwiner: 金币+1, ★有帮助 2012-04-22 19:02:45
会不会真空度不够？ 这个做电子束溅射的时候真空度不够就有裂纹
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6楼2012-04-21 16:02:33
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iwill1k

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
mingliwiner: 金币+1, ★有帮助 2012-04-24 20:29:08
很有可能是镀膜时间太长了吧，我们实验室就有镀膜5小时之后膜开裂的~
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7楼2012-04-24 13:44:07
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