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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 磁控溅射低真空计异常求助
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十点人来疯

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射低真空计异常求助 已有1人参与

大家好，我最近在做磁控溅射镀膜。我们的镀膜机是沈科仪的，最近在抽真空的时候遇到了一些异常。详情如下：

我一般是机械泵抽真空到5pa（低真空计显示）以下，开始抽高真空。分子泵开始工作后，低真空计示数立马就下降了，到0.2pa左右，正常情况是稳定在0.2pa不动的，但是最近抽高真空一段时间后低真空计示数就慢慢往上升了，差不多5个小时后低真空计显示为0.3pa，不太明白这是为什么。

另外一个问题是在溅射过程中，我的低真空计最多只能显示到0.5pa，这样如果工作气压为0.4pa就做不了了。


最后一个问题是关于漏真空的，一般我晚上抽真空到8.4×10-4pa，第二天早上来，漏真空为7.1pa，请问这个漏气速度很快吗。

我刚刚接手这个设备，很多问题都没搞明白
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1楼 2013-11-22 15:10:02
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zyjllyl

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1）真空计的显示是有一定范围的，低真空计在0.5pa左右已经算是极限位置，其本身的显示误差就比较大一些的，个人认为0.2pa变到0.3pa不能说明有其它相关的问题；
2）可以同时开启高真空计，将两个真空计对应记录作为参照确定实验过程的工作压力，另外如果真空度能够进入10-4pa量级，其中你的工艺气体的流量一定的情况下，应该是比较稳定的。不会相差0.1pa的情况呀，另外，如果确实相差这么多则根据你自己的实验要求衡量是否可以继续做实验；
3）这样的漏率相对差了一点，但是还是可以接收的。
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2楼2013-11-24 23:25:10
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十点人来疯

银虫 (小有名气)
感谢你的回复！   问题答案仍然在摸索当中。
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3楼2013-11-25 08:45:27
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vion_zy

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

1.电阻规零点漂移，调一下零点九可以了。我们一直不建议用电阻规来测量沉积气压，因为那个数据不具备任何的可靠性和可参考性。真正想获得一个更可靠的参数数据的话，你可以加一个皮拉尼规。
2.如果你溅射时的工艺气体没有含氧的或者腐蚀性气体的话，0.xPa的气压你完全可以用电离规来测量，在0.xPa范围内，电阻规的精度完全不可靠，相差几倍都是有可能的。
3.设备漏率还行，不是特别高，一般在5Pa以下都算正常。你的设备应该不是漏，我觉得你应该把真空度好好清洁一下了。
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4楼2014-02-23 14:44:36
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guanrenhe

新虫 (初入文坛)
最后一个问题，如果是泵关掉保压的话，真空度一夜升为7.1Pa。应该不算差吧。
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5楼2014-07-17 15:18:08
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