应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 磁控溅射低真空计异常求助
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 1287  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

十点人来疯

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射低真空计异常求助 已有1人参与

大家好，我最近在做磁控溅射镀膜。我们的镀膜机是沈科仪的，最近在抽真空的时候遇到了一些异常。详情如下：

我一般是机械泵抽真空到5pa（低真空计显示）以下，开始抽高真空。分子泵开始工作后，低真空计示数立马就下降了，到0.2pa左右，正常情况是稳定在0.2pa不动的，但是最近抽高真空一段时间后低真空计示数就慢慢往上升了，差不多5个小时后低真空计显示为0.3pa，不太明白这是为什么。

另外一个问题是在溅射过程中，我的低真空计最多只能显示到0.5pa，这样如果工作气压为0.4pa就做不了了。


最后一个问题是关于漏真空的，一般我晚上抽真空到8.4×10-4pa，第二天早上来，漏真空为7.1pa，请问这个漏气速度很快吗。

我刚刚接手这个设备，很多问题都没搞明白
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-11-22 15:10:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

vion_zy

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

1.电阻规零点漂移，调一下零点九可以了。我们一直不建议用电阻规来测量沉积气压，因为那个数据不具备任何的可靠性和可参考性。真正想获得一个更可靠的参数数据的话，你可以加一个皮拉尼规。
2.如果你溅射时的工艺气体没有含氧的或者腐蚀性气体的话，0.xPa的气压你完全可以用电离规来测量，在0.xPa范围内，电阻规的精度完全不可靠，相差几倍都是有可能的。
3.设备漏率还行，不是特别高，一般在5Pa以下都算正常。你的设备应该不是漏，我觉得你应该把真空度好好清洁一下了。
赞一下 回复此楼
4楼2014-02-23 14:44:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

zyjllyl

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1）真空计的显示是有一定范围的，低真空计在0.5pa左右已经算是极限位置，其本身的显示误差就比较大一些的，个人认为0.2pa变到0.3pa不能说明有其它相关的问题；
2）可以同时开启高真空计，将两个真空计对应记录作为参照确定实验过程的工作压力，另外如果真空度能够进入10-4pa量级，其中你的工艺气体的流量一定的情况下，应该是比较稳定的。不会相差0.1pa的情况呀，另外，如果确实相差这么多则根据你自己的实验要求衡量是否可以继续做实验；
3）这样的漏率相对差了一点，但是还是可以接收的。
赞一下 回复此楼
2楼2013-11-24 23:25:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

十点人来疯

银虫 (小有名气)
感谢你的回复！   问题答案仍然在摸索当中。
赞一下 回复此楼
3楼2013-11-25 08:45:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

guanrenhe

新虫 (初入文坛)
最后一个问题，如果是泵关掉保压的话，真空度一夜升为7.1Pa。应该不算差吧。
赞一下 回复此楼
5楼2014-07-17 15:18:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 307求调剂 +14 超级伊昂大王 2026-04-06 14/700 2026-04-08 07:03 by 无际的草原
[考研] 调剂 +4 mcbbc 2026-04-06 5/250 2026-04-07 12:33 by upczlm1989
[考研] 372分材料与化工（085600）英二数二求调剂 +4 蓝笺片 2026-04-06 4/200 2026-04-07 12:30 by dongzh2009
[考研] 一志愿生物与医药，296分，求调剂 +11 66鹿 2026-04-03 13/650 2026-04-06 21:45 by 52305043001
[考研] 一志愿南航，数一英一学硕317求调剂！！ +6 Acaciad 2026-04-04 6/300 2026-04-06 12:13 by 考研学校招点人
[考研] 331求调剂 +8 于征yz 2026-04-05 8/400 2026-04-06 00:54 by fmesaito
[考研] 一志愿北京化工大学，初试成绩350求调剂 +9 沿岸?贝壳 2026-04-04 14/700 2026-04-05 01:09 by 沿岸?贝壳
[考研] 材料专硕322分 +11 哈哈哈吼吼吼哈 2026-04-02 11/550 2026-04-04 23:37 by 永字号
[考研] 调剂 +11 JLLLLLLLLLL 2026-04-03 11/550 2026-04-04 22:21 by hemengdong
[考研] 一志愿上海大学生物学346 +3 上海大学346调剂 2026-04-03 3/150 2026-04-04 20:20 by dongzh2009
[考研] 调剂 +5 asdasdassda 2026-04-03 6/300 2026-04-03 20:27 by 岸上的一条鱼
[考研] 一志愿华中农业071010，总分320求调剂 +7 困困困困坤坤 2026-04-02 7/350 2026-04-03 17:26 by Yuena_Wang
[考研] 315求调剂 +6 顺理成张 2026-04-03 8/400 2026-04-03 14:04 by 百灵童888
[考研] 一志愿北京交通大学材料工程总分358 +4 cs0106 2026-04-03 4/200 2026-04-03 13:41 by 百灵童888
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +6 崔wj 2026-04-02 6/300 2026-04-03 10:19 by 蓝云思雨
[考研] 专硕 351 086100 也是考的材科基 本科也是材料 +8 202451007219 2026-04-02 8/400 2026-04-03 09:50 by 蓝云思雨
[考研] 一志愿华南师范大学-22408计算机-292分-求华南师范大学调剂 +4 爱读书的小鳄鱼 2026-04-02 4/200 2026-04-02 18:35 by 求调剂zz
[考研] 261求B区调剂 +5 明仔· 2026-04-01 7/350 2026-04-02 11:17 by 邹尉尉
[考研] 材料求调剂 +10 呢呢妮妮 2026-04-01 13/650 2026-04-02 09:17 by olim
[考研] 生物学327，求调剂 +5 书上的梅子 2026-04-01 6/300 2026-04-02 06:47 by ilovexiaobin
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭