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tickychao206

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射仪相关 已有6人参与

今天一直在争论一个问题:
磁控溅射仪中一次可放入6个基片,但是一天却只能溅射2片薄膜,那么是否可以第二天直接溅射薄膜而不必重新抽真空呢?(晚上会关闭溅射仪电源)
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正心修身!
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农家仔

铜虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
还是抽一下的好,第二天再做,不暴露大气的情况下应该很容易抽上去的,耽误不了多少时间。
好吃不懒做
2楼2010-05-02 22:17:34
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ytang118

木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
看你的溅射仪真空保持的怎么样,关机了估计够呛了
3楼2010-05-03 02:28:34
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tickychao206

银虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by 农家仔 at 2010-05-02 22:17:34:
还是抽一下的好,第二天再做,不暴露大气的情况下应该很容易抽上去的,耽误不了多少时间。

多谢!
正心修身!
4楼2010-05-03 08:17:37
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floljf

金虫 (正式写手)

真空必须的抽!任何真空设备的一个比较重要的参数就是漏气率,你可以通过开机的时候check一下真控规的读数,通常会是在数十帕以上,这个里面就含有很多的空气中杂质分子。所以还是抽真空比较好的。
由于你没有打开腔体,这个时候抽真空很快,只会是正常抽真空时间的一半吧,当然这是经验值。
5楼2010-05-03 08:40:32
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FePt

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
这个还是以真空计为准吧,最好真空度越高越好
引用回帖:
Originally posted by tickychao206 at 2010-05-02 19:41:04:
今天一直在争论一个问题:
磁控溅射仪中一次可放入6个基片,但是一天却只能溅射2片薄膜,那么是否可以第二天直接溅射薄膜而不必重新抽真空呢?(晚上会关闭溅射仪电源)

6楼2010-05-03 09:01:24
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haosir88

木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
薄膜不怕氧化的话,多放点Ar,应该没什么问题,做之前调流量过程相当于气体清洗过程。
7楼2010-05-03 09:03:33
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tickychao206

银虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by tickychao206 at 2010-05-03 08:17:37:

多谢!

谢谢!!!很受用
正心修身!
8楼2010-05-03 14:40:39
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tickychao206

银虫 (小有名气)

很感谢以上各位,尤其是5楼和6楼,呵呵,很受用!
正心修身!
9楼2010-05-03 14:42:09
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