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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 【求助】磁控溅射仪相关
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tickychao206

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射仪相关 已有6人参与

今天一直在争论一个问题：
磁控溅射仪中一次可放入6个基片，但是一天却只能溅射2片薄膜，那么是否可以第二天直接溅射薄膜而不必重新抽真空呢？（晚上会关闭溅射仪电源）
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正心修身！
1楼 2010-05-02 19:41:04
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农家仔

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
还是抽一下的好，第二天再做，不暴露大气的情况下应该很容易抽上去的，耽误不了多少时间。
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好吃不懒做
2楼2010-05-02 22:17:34
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ytang118

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
看你的溅射仪真空保持的怎么样，关机了估计够呛了
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3楼2010-05-03 02:28:34
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tickychao206

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 农家仔 at 2010-05-02 22:17:34:
还是抽一下的好，第二天再做，不暴露大气的情况下应该很容易抽上去的，耽误不了多少时间。

多谢！
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正心修身！
4楼2010-05-03 08:17:37
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floljf

金虫 (正式写手)
真空必须的抽！任何真空设备的一个比较重要的参数就是漏气率，你可以通过开机的时候check一下真控规的读数，通常会是在数十帕以上，这个里面就含有很多的空气中杂质分子。所以还是抽真空比较好的。
由于你没有打开腔体，这个时候抽真空很快，只会是正常抽真空时间的一半吧，当然这是经验值。
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5楼2010-05-03 08:40:32
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FePt

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
这个还是以真空计为准吧，最好真空度越高越好
引用回帖:
Originally posted by tickychao206 at 2010-05-02 19:41:04:
今天一直在争论一个问题：
磁控溅射仪中一次可放入6个基片，但是一天却只能溅射2片薄膜，那么是否可以第二天直接溅射薄膜而不必重新抽真空呢？（晚上会关闭溅射仪电源）

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6楼2010-05-03 09:01:24
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haosir88

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
薄膜不怕氧化的话，多放点Ar，应该没什么问题，做之前调流量过程相当于气体清洗过程。
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7楼2010-05-03 09:03:33
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tickychao206

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by tickychao206 at 2010-05-03 08:17:37:

多谢！

谢谢！！！很受用
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正心修身！
8楼2010-05-03 14:40:39
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tickychao206

银虫 (小有名气)
很感谢以上各位，尤其是5楼和6楼，呵呵，很受用！
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正心修身！
9楼2010-05-03 14:42:09
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