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tickychao206

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射仪相关 已有6人参与

今天一直在争论一个问题:
磁控溅射仪中一次可放入6个基片,但是一天却只能溅射2片薄膜,那么是否可以第二天直接溅射薄膜而不必重新抽真空呢?(晚上会关闭溅射仪电源)
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正心修身!
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tickychao206

银虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by 农家仔 at 2010-05-02 22:17:34:
还是抽一下的好,第二天再做,不暴露大气的情况下应该很容易抽上去的,耽误不了多少时间。

多谢!
正心修身!
4楼2010-05-03 08:17:37
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tickychao206

银虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by tickychao206 at 2010-05-03 08:17:37:

多谢!

谢谢!!!很受用
正心修身!
8楼2010-05-03 14:40:39
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tickychao206

银虫 (小有名气)

很感谢以上各位,尤其是5楼和6楼,呵呵,很受用!
正心修身!
9楼2010-05-03 14:42:09
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