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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【交流】请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢？
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caiqiwen

木虫 (小有名气)

[交流] 【交流】请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢？

请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢？急需答案，请帮帮忙吧！
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1楼 2010-12-12 18:25:19
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

zhangbin07

荣誉版主 (知名作家)
★
caiqiwen(金币+1): 2010-12-15 09:37:53
tongling921(金币+1):3x 2010-12-21 21:02:23
做之前用彩色笔画一道 做台阶试验不都这样嘛
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5楼2010-12-13 20:22:45
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chenying365

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
用那种记号笔就可以，在基底上划一道痕迹，镀完膜之后用丙酮冲一下记号笔就可以去掉，当然上面的膜也去掉了，形成台阶了。或者使用高温胶带，将边缘覆盖，做完之后将胶带揭掉也可以，本人感觉还是第二中比较好
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caiqiwen
22楼2012-07-01 23:41:09
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普通回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
caiqiwen(金币+2): 2010-12-13 00:36:49
tongling921(金币+1):3x 2010-12-21 21:01:58
做完之后，用胶带一扯就形成很好的台阶了。
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2楼2010-12-13 00:28:16
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lulinsmann

木虫 (著名写手)
★
tongling921(金币+1):3x 2010-12-21 21:02:08
装衬底时用其他物品盖住一部分即可
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3楼2010-12-13 14:15:59
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donkeypku

至尊木虫 (著名写手)
★
tongling921(金币+1):3x 2010-12-21 21:02:13
引用回帖:
Originally posted by caiqiwen at 2010-12-12 18:25:19:
请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢？急需答案，请帮帮忙吧！

做之前，搞一条铝箔缠在上面
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4楼2010-12-13 15:27:49
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zhl028

铁杆木虫 (小有名气)
★
caiqiwen(金币+1): 2010-12-15 10:37:49
tongling921(金币+1):3x 2010-12-21 21:02:29
镀膜前用胶水划一道线，沉积过后用酒精溶解，构成台阶
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6楼2010-12-14 23:16:19
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caiqiwen

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by zhangbin07 at 2010-12-13 20:22:45:
做之前用彩色笔画一道 做台阶试验不都这样嘛

首先谢谢你的回复！那怎样用彩色笔画一道呢？能不能说详细些呢？镀完膜后一样没有台阶吧？
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7楼2010-12-15 09:37:35
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caiqiwen

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by zhl028 at 2010-12-14 23:16:19:
镀膜前用胶水划一道线，沉积过后用酒精溶解，构成台阶

谢谢你的回复啊！用哪种胶水比较好呢？酒精溶解的效果如何？台阶明显吗？
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8楼2010-12-15 09:48:56
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zhangbin07

荣誉版主 (知名作家)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
tongling921(金币+1):3x 2010-12-21 21:02:44
引用回帖:
Originally posted by caiqiwen at 2010-12-15 09:37:35:

首先谢谢你的回复！那怎样用彩色笔画一道呢？能不能说详细些呢？镀完膜后一样没有台阶吧？

就是普通的水彩笔就可以了
后面的可能是超声一下什么的，我不记得了。见别人做实验是这样的。
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9楼2010-12-16 06:30:02
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piqihenhaode

金虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
tongling921(金币+1):3x 2010-12-21 21:02:50
在衬底上用真空胶带贴上一小块，镀完膜将胶带用夹子夹掉，就形成台阶了。一般的话，粘胶带后要用棉签使胶带和衬底接触平缓，最好是多粘两小块比较好。
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10楼2010-12-18 13:12:42
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wangwang3366

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
在做之前，用东西遮住样品一部份。通常用锡纸，超市有卖。
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11楼2010-12-18 13:27:29
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caiqiwen

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by piqihenhaode at 2010-12-18 13:12:42:
在衬底上用真空胶带贴上一小块，镀完膜将胶带用夹子夹掉，就形成台阶了。一般的话，粘胶带后要用棉签使胶带和衬底接触平缓，最好是多粘两小块比较好。

谢谢你！我买了真空胶带了，明天试一下效果。
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12楼2010-12-20 00:03:27
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xuzanetti

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
你可以尝试在上面点些光刻胶 做完后用硫酸双氧水洗掉就好
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13楼2010-12-20 22:06:22
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caiqiwen

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by xuzanetti at 2010-12-20 22:06:22:
你可以尝试在上面点些光刻胶 做完后用硫酸双氧水洗掉就好

好的，谢谢你！如果温度高到两百五度时，会不会破坏到光刻胶呢？
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14楼2010-12-21 09:06:28
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shuixiang515

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
这就是形成一个台阶对吧
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15楼2010-12-21 16:57:05
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xuzanetti

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by caiqiwen at 2010-12-21 09:06:28:

好的，谢谢你！如果温度高到两百五度时，会不会破坏到光刻胶呢？

额  对与这个问题  我不是很清楚 一般只是在烘干时能加热到120°C  不过 如果条件可以的话  楼主可以尝试一下这个温度  也可以做一下高温胶带和光刻胶的对比  记得导师曾经说过光刻胶做台阶的边界效果好于胶带  呵呵
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16楼2010-12-21 19:46:58
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zhl028

铁杆木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by caiqiwen at 2010-12-15 09:48:56:

谢谢你的回复啊！用哪种胶水比较好呢？酒精溶解的效果如何？台阶明显吗？

那种胶叫银胶，比较贵，不过有毒
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17楼2010-12-21 22:00:41
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chenguang5895

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我是用真空胶带贴上后，（要把胶带的边缘部分贴紧了，要不不好测）
沉积后把把胶带撤去就可以
或者用彩笔（签名笔）划一下，沉积后用酒精擦去就可以了
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18楼2010-12-22 08:22:13
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lf1982000

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by caiqiwen at 2010-12-12 18:25:19:
请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢？急需答案，请帮帮忙吧！

可以做SEM  能看清楚厚度的
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19楼2010-12-31 20:18:35
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chying8181

金虫 (初入文坛)
用胶带粘比较常见呀
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20楼2011-02-24 14:03:56
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likai196

铁虫 (小有名气)
掩膜法比较好
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21楼2011-03-29 11:18:01
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caiqiwen

木虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
1969514楼: Originally posted by chenying365 at 2012-07-01 23:41:09
用那种记号笔就可以，在基底上划一道痕迹，镀完膜之后用丙酮冲一下记号笔就可以去掉，当然上面的膜也去掉了，形成台阶了。或者使用高温胶带，将边缘覆盖，做完之后将胶带揭掉也可以，本人感觉还是第二中比较好

谢谢！我现在用的就是第二种方法，确实可行。
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23楼2012-07-02 01:01:04
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linjie137

禁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
24楼2012-07-02 16:28:35
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perry_ping

新虫 (职业作家)
胶带

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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25楼2015-01-14 15:40:21
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qxyyhsc

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
粘层胶带或者用记号笔划下
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26楼2015-01-14 15:52:36
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muxiao-chong

木虫 (正式写手)
用抗高温胶带吧
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27楼2015-01-14 17:15:48
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