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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【交流】请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢？
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caiqiwen

木虫 (小有名气)

[交流] 【交流】请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢？

请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢？急需答案，请帮帮忙吧！
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1楼 2010-12-12 18:25:19
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xuzanetti

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by caiqiwen at 2010-12-21 09:06:28:

好的，谢谢你！如果温度高到两百五度时，会不会破坏到光刻胶呢？

额  对与这个问题  我不是很清楚 一般只是在烘干时能加热到120°C  不过 如果条件可以的话  楼主可以尝试一下这个温度  也可以做一下高温胶带和光刻胶的对比  记得导师曾经说过光刻胶做台阶的边界效果好于胶带  呵呵
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16楼2010-12-21 19:46:58
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
caiqiwen(金币+2): 2010-12-13 00:36:49
tongling921(金币+1):3x 2010-12-21 21:01:58
做完之后，用胶带一扯就形成很好的台阶了。
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2楼2010-12-13 00:28:16
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lulinsmann

木虫 (著名写手)
★
tongling921(金币+1):3x 2010-12-21 21:02:08
装衬底时用其他物品盖住一部分即可
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3楼2010-12-13 14:15:59
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donkeypku

至尊木虫 (著名写手)
★
tongling921(金币+1):3x 2010-12-21 21:02:13
引用回帖:
Originally posted by caiqiwen at 2010-12-12 18:25:19:
请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢？急需答案，请帮帮忙吧！

做之前，搞一条铝箔缠在上面
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4楼2010-12-13 15:27:49
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