24小时热门版块排行榜    

查看: 1442  |  回复: 8
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

tickychao206

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射仪相关 已有6人参与

今天一直在争论一个问题:
磁控溅射仪中一次可放入6个基片,但是一天却只能溅射2片薄膜,那么是否可以第二天直接溅射薄膜而不必重新抽真空呢?(晚上会关闭溅射仪电源)
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

正心修身!
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tickychao206

银虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by 农家仔 at 2010-05-02 22:17:34:
还是抽一下的好,第二天再做,不暴露大气的情况下应该很容易抽上去的,耽误不了多少时间。

多谢!
正心修身!
4楼2010-05-03 08:17:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

农家仔

铜虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
还是抽一下的好,第二天再做,不暴露大气的情况下应该很容易抽上去的,耽误不了多少时间。
好吃不懒做
2楼2010-05-02 22:17:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ytang118

木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
看你的溅射仪真空保持的怎么样,关机了估计够呛了
3楼2010-05-03 02:28:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

floljf

金虫 (正式写手)

真空必须的抽!任何真空设备的一个比较重要的参数就是漏气率,你可以通过开机的时候check一下真控规的读数,通常会是在数十帕以上,这个里面就含有很多的空气中杂质分子。所以还是抽真空比较好的。
由于你没有打开腔体,这个时候抽真空很快,只会是正常抽真空时间的一半吧,当然这是经验值。
5楼2010-05-03 08:40:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0856材料求调剂 +9 hyf hyf hyf 2026-02-28 10/500 2026-02-28 18:22 by liqiongjy
[教师之家] 版面费该交吗 +15 苹果在哪里 2026-02-22 18/900 2026-02-28 18:20 by mibaomingg
[考研] 285求调剂 +5 满头大汗的学生 2026-02-28 5/250 2026-02-28 18:10 by 材料专硕调剂;
[考研] 材料学调剂 +3 提神豆沙包 2026-02-28 3/150 2026-02-28 18:10 by djennjx
[考研] 材料调剂 +3 爱擦汗的可乐冰 2026-02-28 3/150 2026-02-28 18:06 by houyaoxu
[考研] 276求调剂 +3 路lyh123 2026-02-28 3/150 2026-02-28 18:02 by houyaoxu
[考研] 求调剂 +3 repeatt?t 2026-02-28 3/150 2026-02-28 18:00 by houyaoxu
[考研] 085600材料工程一志愿中科大总分312求调剂 +5 吃宵夜1 2026-02-28 7/350 2026-02-28 17:57 by njzyff
[考研] 311求调剂 +6 南迦720 2026-02-28 6/300 2026-02-28 17:17 by 刘茉莉
[考博] 博士自荐 +3 kkluvs 2026-02-28 3/150 2026-02-28 16:59 by StarAura
[考博] 博士推荐 +4 花儿笑? 2026-02-21 5/250 2026-02-28 16:55 by mumin1990
[考研] 265分求调剂不调专业和学校有行学上就 +4 礼堂丁真258 2026-02-28 6/300 2026-02-28 16:18 by 求调剂zz
[考研] 295求调剂 +4 19171856320 2026-02-28 4/200 2026-02-28 13:39 by ms629
[考研] 290求调剂 +4 材料专硕调剂; 2026-02-28 5/250 2026-02-28 13:32 by houyaoxu
[考研] 寻找调剂 +3 LYidhsjabdj 2026-02-28 3/150 2026-02-28 12:59 by miniwendy
[考研] 304求调剂 +5 曼殊2266 2026-02-28 6/300 2026-02-28 12:44 by 迷糊CCPs
[硕博家园] 博士自荐 +6 科研狗111 2026-02-26 9/450 2026-02-28 12:32 by seaskyy
[基金申请] 什么是人一生最重要的? +10 瞬息宇宙 2026-02-21 10/500 2026-02-27 08:46 by tfang
[基金申请] 面上可以超过30页吧? +12 阿拉贡aragon 2026-02-22 13/650 2026-02-26 22:09 by Hahaxia
[硕博家园] 【博士招生】太原理工大学2026化工博士 +4 N1ce_try 2026-02-24 8/400 2026-02-26 08:40 by N1ce_try
信息提示
请填处理意见