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tickychao206

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射仪相关 已有6人参与

今天一直在争论一个问题:
磁控溅射仪中一次可放入6个基片,但是一天却只能溅射2片薄膜,那么是否可以第二天直接溅射薄膜而不必重新抽真空呢?(晚上会关闭溅射仪电源)
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正心修身!
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haosir88

木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
薄膜不怕氧化的话,多放点Ar,应该没什么问题,做之前调流量过程相当于气体清洗过程。
7楼2010-05-03 09:03:33
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