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磁控溅射低真空计异常求助 已有1人参与
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大家好，我最近在做磁控溅射镀膜。我们的镀膜机是沈科仪的，最近在抽真空的时候遇到了一些异常。详情如下： 我一般是机械泵抽真空到5pa（低真空计显示）以下，开始抽高真空。分子泵开始工作后，低真空计示数立马就下降了，到0.2pa左右，正常情况是稳定在0.2pa不动的，但是最近抽高真空一段时间后低真空计示数就慢慢往上升了，差不多5个小时后低真空计显示为0.3pa，不太明白这是为什么。 另外一个问题是在溅射过程中，我的低真空计最多只能显示到0.5pa，这样如果工作气压为0.4pa就做不了了。 最后一个问题是关于漏真空的，一般我晚上抽真空到8.4×10-4pa，第二天早上来，漏真空为7.1pa，请问这个漏气速度很快吗。 我刚刚接手这个设备，很多问题都没搞明白 |
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3楼2013-11-25 08:45:27
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