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攻克难点

铁虫 (初入文坛)

[交流] 有用“沈阳科仪的JGP-450A型高真空磁控溅射系统”的?请进来讨论 已有6人参与

我是新手,刚开始做实验,用的是“中科院沈阳科仪的JGP-450A型高真空磁控溅射系统”来镀膜,机器的气路系统有两路,流量控制为一路100sccm,一路200sccm。当我分别通入两种气体时发现有一路是有小数点显示,另一路却没有,这是怎么回事?我又要怎么控制两路气体的流量比呢?
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)

l是啊,两路流量范围不同,一路100sccm,一路200sccm。
3楼2011-04-07 09:09:10
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380677864

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
zhaohaixing(金币+1): 谢谢回答~ 2011-04-07 12:37:12
是不是两个流量计不一样啊,我用过这个仪器,没有你说的这个情况。你看看两个表精度一样吗
2楼2011-04-06 20:48:42
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380677864

木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by 攻克难点 at 2011-04-07 09:09:10:
l是啊,两路流量范围不同,一路100sccm,一路200sccm。

两个表的精度呢?
4楼2011-04-07 18:50:35
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)

这个说明书上没指出,如果一路读数为04.0我就认为流量为4sccm  ,一路读数为006就是6sccm,请问这样的话我是不是可以说两路气体流量比为4:6呢?
5楼2011-04-07 19:15:38
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