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有用“沈阳科仪的JGP-450A型高真空磁控溅射系统”的？请进来讨论 已有6人参与
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| 我是新手，刚开始做实验，用的是“中科院沈阳科仪的JGP-450A型高真空磁控溅射系统”来镀膜，机器的气路系统有两路，流量控制为一路100sccm，一路200sccm。当我分别通入两种气体时发现有一路是有小数点显示，另一路却没有，这是怎么回事？我又要怎么控制两路气体的流量比呢？ |
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xqzhang56
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6楼2011-04-08 14:50:48