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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 磁控溅射设备真空度测试
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qxysummer

金虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射设备真空度测试

我们的磁控溅射设备想配置一个真空度测试的仪器 不知道大家有没有这方面的经验
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1楼 2012-03-08 10:58:13
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guojun1029

银虫 (小有名气)
电容规主要测试工作时沉积腔内压强或者电离规测试背底真空。我们还有一个是测样品室内的真空计。
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2楼2012-03-09 08:53:31
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qxysummer

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by guojun1029 at 2012-03-09 08:53:31:
电容规主要测试工作时沉积腔内压强或者电离规测试背底真空。我们还有一个是测样品室内的真空计。

测样品室内的真空计和分子泵上的那种是一样的吗 你们另配的还是自带的
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3楼2012-03-09 09:01:36
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guojun1029

银虫 (小有名气)
自配的都是。样品室测的是睿宝的。沉寂室测量背底部是北大设备厂产的，沉积时候测压强的是一个进口的。
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4楼2012-03-09 15:53:39
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