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lzy11189

木虫 (小有名气)

应助: 3 (幼儿园)
金币: 1630.9
帖子: 81
在线: 251.9小时
虫号: 2613954
注册: 2013-08-24
专业: 玻璃材料

[求助] 磁控溅射底座与腔体短路了怎么解决已有3人参与

正在镀膜时发现电流为0了，还有电压，初步判定靶材与阳极罩短路了。打开腔体检查后发现是底座与腔体短路了。这种短路应该怎么解决啊

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磁控溅射靶材资料大全

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1楼2014-03-03 16:03:38

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

wangshaobin

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 96.3
帖子: 17
在线: 11.5小时
虫号: 2936633
注册: 2014-01-17
性别: GG
专业: 无机非金属基复合材料

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
mjx150: 金币+1, 欢迎到本版交流，鼓励新虫 2014-03-13 11:13:42
lzy11189: 金币+3, ★有帮助 2014-03-16 15:57:11

不知是圆柱靶还是平面靶？可以加聚四氟材料垫片，隔绝联通；也可能是你镀的金属膜，将靶和壳体联通。

7楼2014-03-13 10:28:37

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