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lzy11189

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射底座与腔体短路了 怎么解决已有3人参与

正在镀膜时发现电流为0了,还有电压,初步判定靶材与阳极罩短路了。打开腔体检查后发现是底座与腔体短路了。这种短路应该怎么解决啊
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wangshaobin

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
mjx150: 金币+1, 欢迎到本版交流,鼓励新虫 2014-03-13 11:13:42
lzy11189: 金币+3, 有帮助 2014-03-16 15:57:11
不知是圆柱靶还是平面靶?可以加聚四氟材料垫片,隔绝联通;也可能是你镀的金属膜,将靶和壳体联通。
7楼2014-03-13 10:28:37
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