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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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liuxiaoyucrd

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射腔室内的铝靶变质了 急!急!急!

磁控溅射镀铝,基底上的铝膜不是正常的金属铝的颜色,靶材拿出来后变成下图这样,中间和边缘部分发黑,溅射环内像结晶状的东西,不平整。溅射过程中没有通氧气,请问一下有经验的童鞋,这个是怎么回事呢?

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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
我用过的AL靶也是这个样子,应该没关系,如果还可以起弧

实在不行,你可以拿去抛光一下
把表面的那层黑色的氧化物抛光掉。
2楼2012-09-14 08:51:40
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Ivan_ye

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
感觉有点像靶中毒。以前用过Ag靶会变黑,但没像你这样出现中心结晶
3楼2012-09-14 09:27:56
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谢志滨

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
铝把很容易被氧化的,特别是在你镀完膜之后,把电极温度很高直接暴露在空气中就被氧化了,建议你在镀完膜之后也抽真空放置。真空度不用太低。
4楼2012-09-14 10:19:21
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dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你去测一下EDX或者mapping看看是什么物质,也有可能是碳化和氧化共同作用的结果。
5楼2012-09-14 13:51:10
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖

你设备的真空度有问题,或是您通入的气体不纯,从靶的表面看,是很明显的Al靶表面氧化,就是常说的中毒。这也和靶的本身纯度晶型有关。
6楼2012-09-17 13:39:48
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逆流成河126

新虫 (小有名气)

请问一下,铝靶溅射到基地的压力是多少

发自小木虫Android客户端
7楼2019-05-16 22:06:32
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