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liuxiaoyucrd

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 773.5
散金: 23
帖子: 80
在线: 98小时
虫号: 1142079
注册: 2010-11-09
专业: 光学

[求助] 磁控溅射腔室内的铝靶变质了急！急！急！

磁控溅射镀铝，基底上的铝膜不是正常的金属铝的颜色，靶材拿出来后变成下图这样，中间和边缘部分发黑，溅射环内像结晶状的东西，不平整。溅射过程中没有通氧气，请问一下有经验的童鞋，这个是怎么回事呢？

WT`T@NV5ZC@KY8@14`M_`PL.jpg

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1楼 2012-09-13 20:01:28

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Ivan_ye

金虫 (正式写手)

应助: 14 (小学生)
金币: 1164.4
散金: 66
红花: 2
帖子: 798
在线: 50.7小时
虫号: 978357
注册: 2010-03-22
专业: 聚合物共混与复合材料

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

感觉有点像靶中毒。以前用过Ag靶会变黑，但没像你这样出现中心结晶

3楼2012-09-14 09:27:56

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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