| 查看: 4025 | 回复: 16 | |||
[交流]
磁控溅射双靶与单靶在制备中的应用
|
|||
|
磁控溅射双靶与单靶： 小弟最近要用磁控溅射设备制备薄膜，平时用的是单靶。但是，实验室其他人用的是双靶。如果把双靶换成单靶需要一定的时间，麻烦。 所以小弟想问一下，用双靶代替单靶制备薄膜是否可以呢？当然，薄膜会淀积成，但是有什么区别呢？ |
回复此楼» 猜你喜欢
关于如何从代码看上不上会
已经有19人回复
-
b口会评
已经有6人回复
-
信息学部会评时间
已经有3人回复
-
祈祷青基必中
已经有9人回复
-
在职考研
已经有7人回复
-
MSER送审了还被拒稿
已经有5人回复
-
硝基还原
已经有5人回复
-
化学口会评？应用基础研究和基础研究，希望能分开
已经有3人回复
-
今年E04面上
已经有21人回复
-
大龄残疾硕士的一点执念
已经有22人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- [求助]磁控溅射设备中的强磁靶接射频电源是否会对靶位造成损伤？
已经有9人回复
- 磁控溅射腔室内的铝靶变质了 急！急！急！
已经有6人回复
- 关于磁控溅射靶材的颗粒
已经有10人回复
- 有没有人用磁控溅射做过alpha-Fe2O3，用的靶材是什么
已经有6人回复
- 射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
已经有10人回复
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 磁控溅射法合成材料，其中粉末制靶需要冷压，这个冷压操作怎么具体操作？
已经有4人回复
- 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
已经有9人回复
- 【求助】直流磁控溅射AlN薄膜的工艺条件，比如氮气流量、比例，镀膜气压？？靶电压？
已经有6人回复
- 【求助】有买过Fe50Mn50磁控溅射靶的么？
已经有3人回复
- 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
已经有20人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
90年 河北 回族女生 在京 诚征男友
+1/619
-
]青岛市人才引进直事业编，93年，985硕，180 70，爱好弹吉他唱歌
+1/140
-
热分析测试
+1/84
-
化学所分子识别实验室公开招聘项目聘用人员
+1/80
-
中国医学科学院苏州系统医学研究所胡士斌课题组科研助理招聘
+1/45
-
北京师范大学(珠海)电催化方向招收2027年硕士研究生化学或材料方向
+1/34
-
海南大学化学院，招聘2026科研助理，博士，博士后
+1/34
-
北京理工大学长三角研究院（嘉兴）先进材料与智能装备团队 招聘
+1/31
-
中山大学孙逸仙纪念医院招收科研博士后
+1/15
-
香港科技大学（广州）收水文学方向科研助理/全奖博士
+1/10
-
2氯5甲基吡啶和2氯6三氯甲基吡啶大生产工艺需求
+1/6
-
圣路易斯华盛顿大学管建均教授课题组招聘博士后（2名）
+1/5
-
浙江大学-化工学院刘平伟课题组-二维材料/功能聚合物开发-博后招聘
+1/4
-
暨南大学开明峰教授团队博士后招聘启事
+1/4
-
圣路易斯华盛顿大学管建均教授课题组招聘博士后（2名）
+1/3
-
北师大（珠海）环境辐射与健康方向招聘博士后启事
+1/3
-
清华大学韩军功教授课题组博士后招聘启事
+1/2
-
圣路易斯华盛顿大学管建均教授课题组招聘博士后（2名）
+1/1
-
力学研究所某专项团队支撑岗位和特别研究助理岗位招聘启事(长期有效)
+1/1
-
《穿越持科研神辅，杀懵外星万舰》第三章 金銮殿上赌命局
+1/1
★ ★ ★ ★
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-10-24 08:22:30
risktaker111: 金币+2, 谢谢 2012-10-24 16:24:05
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-10-24 08:22:30
risktaker111: 金币+2, 谢谢 2012-10-24 16:24:05
|
LZ，我也做过磁控溅射，仍然真心不明白你要表达什么。我只能根据自己的揣测回答你的问题。 假设你用A靶和B靶依次进行单靶溅射，则制得的材料构型应该是Substrate\A film\B film，其中A膜和B膜之间存在清晰的界面，也就是说基材上有两层薄膜；如果是A靶和B靶进行双靶溅射，则基材表面仅生成一层薄膜，这层薄膜由A和B通过一定比率掺杂形成，材料构型为Substrate\A-B film。 |
4楼2012-10-22 16:20:41
9楼2012-10-22 17:16:46
2楼2012-10-22 15:20:13
3楼2012-10-22 15:59:32
10楼2012-10-22 17:27:30
11楼2012-10-22 18:57:06
12楼2012-10-23 11:53:52
14楼2012-10-23 23:17:05
17楼2012-10-24 09:59:24
简单回复
叶小猪儿5楼
2012-10-22 16:43
回复
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
2012-10-22 16:47
回复
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
2012-10-22 16:59
回复
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
fangxin8楼
2012-10-22 17:01
回复
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
sciencemaji13楼
2012-10-23 13:57
回复
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
chemlh15楼
2012-10-24 08:22
回复
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
chemlh16楼
2012-10-24 08:24
回复