应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 磁控溅射双靶与单靶在制备中的应用
51/1返回列表
查看: 4232  |  回复: 16
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

risktaker111

金虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射双靶与单靶在制备中的应用

磁控溅射双靶与单靶：
小弟最近要用磁控溅射设备制备薄膜，平时用的是单靶。但是，实验室其他人用的是双靶。如果把双靶换成单靶需要一定的时间，麻烦。
所以小弟想问一下，用双靶代替单靶制备薄膜是否可以呢？当然，薄膜会淀积成，但是有什么区别呢？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2012-10-22 15:04:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xlblank

新虫 (正式写手)
★
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
xlblank回复
回复此楼
17楼2012-10-24 09:59:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 17 个回答

Ivan_ye

金虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-10-24 08:22:30
risktaker111: 金币+2, 谢谢 2012-10-24 16:24:05
LZ，我也做过磁控溅射，仍然真心不明白你要表达什么。我只能根据自己的揣测回答你的问题。
假设你用A靶和B靶依次进行单靶溅射，则制得的材料构型应该是Substrate\A film\B film，其中A膜和B膜之间存在清晰的界面，也就是说基材上有两层薄膜；如果是A靶和B靶进行双靶溅射，则基材表面仅生成一层薄膜，这层薄膜由A和B通过一定比率掺杂形成，材料构型为Substrate\A-B film。
赞一下(2人) 回复此楼
4楼2012-10-22 16:20:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

linberg

木虫 (正式写手)
★ ★ ★
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
risktaker111: 金币+2, 谢谢 2012-10-24 16:24:17
引用回帖:
4楼: Originally posted by Ivan_ye at 2012-10-22 16:20:41
LZ，我也做过磁控溅射，仍然真心不明白你要表达什么。我只能根据自己的揣测回答你的问题。
假设你用A靶和B靶依次进行单靶溅射，则制得的材料构型应该是Substrate\A film\B film，其中A膜和B膜之间存在清晰的界面， ...

应该就是你说的这种情况。楼主的单靶估计是掺杂靶，就是A+B混合烧结的靶，双靶就是A靶和B靶共溅射吧。根据我的理解，如果楼主想在很大范围内改变A/B比例的话，还是双靶共溅射好，不用去做很多不同比例的单靶。但是如果B只是少量掺杂的话，单靶溅射的重复性等等要好一些。
赞一下(1人) 回复此楼
9楼2012-10-22 17:16:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wu1008

金虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by linberg at 2012-10-22 17:16:46
应该就是你说的这种情况。楼主的单靶估计是掺杂靶，就是A+B混合烧结的靶，双靶就是A靶和B靶共溅射吧。根据我的理解，如果楼主想在很大范围内改变A/B比例的话，还是双靶共溅射好，不用去做很多不同比例的单靶。但是 ...

其实，共溅射的效果真心不怎么样
赞一下 回复此楼
10楼2012-10-22 17:27:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
叶小猪儿5楼
2012-10-22 16:43   回复  
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
3楼: Originally posted by neu234 at 2012-10-22 15:59:32 高深啊

查看全部 17 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭