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risktaker111

金虫 (正式写手)

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[交流] 磁控溅射双靶与单靶在制备中的应用

磁控溅射双靶与单靶：
小弟最近要用磁控溅射设备制备薄膜，平时用的是单靶。但是，实验室其他人用的是双靶。如果把双靶换成单靶需要一定的时间，麻烦。
所以小弟想问一下，用双靶代替单靶制备薄膜是否可以呢？当然，薄膜会淀积成，但是有什么区别呢？

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1楼2012-10-22 15:04:51

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neu234

木虫之王 (文学泰斗)

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risktaker111(金币+1): 谢谢参与

高深啊

3楼2012-10-22 15:59:32

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