| 查看: 3655 | 回复: 16 | |||
[交流]
磁控溅射双靶与单靶在制备中的应用
|
|||
|
磁控溅射双靶与单靶： 小弟最近要用磁控溅射设备制备薄膜，平时用的是单靶。但是，实验室其他人用的是双靶。如果把双靶换成单靶需要一定的时间，麻烦。 所以小弟想问一下，用双靶代替单靶制备薄膜是否可以呢？当然，薄膜会淀积成，但是有什么区别呢？ |
回复此楼» 猜你喜欢
交叉科学部支持青年基金，对三无青椒是个机会吗？
已经有3人回复
-
国家级人才课题组招收2026年入学博士
已经有5人回复
-
Fe3O4@SiO2合成
已经有6人回复
-
青年基金C终止
已经有4人回复
-
青椒八年已不青，大家都被折磨成啥样了？
已经有7人回复
-
为什么nbs上溴 没有产物点出现呢
已经有10人回复
-
救命帖
已经有11人回复
-
招博士
已经有5人回复
-
26申博求博导推荐-遥感图像处理方向
已经有4人回复
-
限项规定
已经有7人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- [求助]磁控溅射设备中的强磁靶接射频电源是否会对靶位造成损伤？
已经有9人回复
- 磁控溅射腔室内的铝靶变质了 急！急！急！
已经有6人回复
- 关于磁控溅射靶材的颗粒
已经有10人回复
- 有没有人用磁控溅射做过alpha-Fe2O3，用的靶材是什么
已经有6人回复
- 射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
已经有10人回复
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 磁控溅射法合成材料，其中粉末制靶需要冷压，这个冷压操作怎么具体操作？
已经有4人回复
- 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
已经有9人回复
- 【求助】直流磁控溅射AlN薄膜的工艺条件，比如氮气流量、比例，镀膜气压？？靶电压？
已经有6人回复
- 【求助】有买过Fe50Mn50磁控溅射靶的么？
已经有3人回复
- 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
已经有20人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
东北石油大学三亚海洋油气研究院|地学硕士|地质资源与地质工程、地质学、地质工程等
+1/169
-
招聘启事 江南大学乳品加工与营养健康团队博士后招聘
+2/110
-
美国R1大学--德克萨斯大学埃尔帕索分校（UTEP） 土木、环境与建筑工程系 博士招生
+1/82
-
【2026/2027 哈工大计算机类博士招生】
+1/78
-
深圳大学信息功能聚合物电介质方向“申请-考核制”博士生招生
+1/75
-
[求助] 半导体物理PPT课件 东华理工机电学院 彭新村老师
+1/75
-
广东工业大学自动化学院鲁仁全教授团队刘勇华老师招收2026年博士研究生（申请制）
+1/74
-
大连理工大学智能系统实验室优秀硕博研究生招生
+1/72
-
北京理工大学 珠海校区全职院士招数名博士生--申请考核制-半导体、光学、微电子
+2/66
-
招收博士生（大连理工大学，2026.09入学）
+1/52
-
中国科学院上海光学精密机械研究所 特种强激光薄膜课题组
+1/28
-
山东大学集成电路学院王凌云研究员招收2026年硕士生及联合培养硕士生
+1/8
-
英国埃克塞特大学联合培养博士,访问学者, 博后依托申请
+1/5
-
福建师范大学柔性电子学院 院士团队招2026级博士 光电器件、发光传感忆阻器
+1/3
-
福建师范大学柔性电子学院 院士团队招2026级博士 光电器件、发光传感忆阻器
+1/3
-
广东以色列理工学院博士/硕士招生-通过稀疏观测用数据驱动方法预测湍流
+1/3
-
顾敏院士课题组招收2026级光学工程专业博士研究生-上海理工大学智能科技学院
+1/3
-
【博士后/科研助理招聘-北京理工大学-集成电路与电子学院-国家杰青团队】
+1/2
-
南开大学齐迹课题组诚聘分子生物学、免疫学、有机分子合成相关方向的博士后和研究生
+1/1
-
中国科学技术大学 招特任副研究员 有机-钙钛矿方向
+1/1
★ ★ ★ ★
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-10-24 08:22:30
risktaker111: 金币+2, 谢谢 2012-10-24 16:24:05
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-10-24 08:22:30
risktaker111: 金币+2, 谢谢 2012-10-24 16:24:05
|
LZ，我也做过磁控溅射，仍然真心不明白你要表达什么。我只能根据自己的揣测回答你的问题。 假设你用A靶和B靶依次进行单靶溅射，则制得的材料构型应该是Substrate\A film\B film，其中A膜和B膜之间存在清晰的界面，也就是说基材上有两层薄膜；如果是A靶和B靶进行双靶溅射，则基材表面仅生成一层薄膜，这层薄膜由A和B通过一定比率掺杂形成，材料构型为Substrate\A-B film。 |
4楼2012-10-22 16:20:41
9楼2012-10-22 17:16:46
2楼2012-10-22 15:20:13
3楼2012-10-22 15:59:32
10楼2012-10-22 17:27:30
11楼2012-10-22 18:57:06
12楼2012-10-23 11:53:52
14楼2012-10-23 23:17:05
17楼2012-10-24 09:59:24
简单回复
叶小猪儿5楼
2012-10-22 16:43
回复
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
2012-10-22 16:47
回复
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
2012-10-22 16:59
回复
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
fangxin8楼
2012-10-22 17:01
回复
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
sciencemaji13楼
2012-10-23 13:57
回复
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
chemlh15楼
2012-10-24 08:22
回复
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
chemlh16楼
2012-10-24 08:24
回复