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risktaker111

金虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射双靶与单靶在制备中的应用

磁控溅射双靶与单靶：
小弟最近要用磁控溅射设备制备薄膜，平时用的是单靶。但是，实验室其他人用的是双靶。如果把双靶换成单靶需要一定的时间，麻烦。
所以小弟想问一下，用双靶代替单靶制备薄膜是否可以呢？当然，薄膜会淀积成，但是有什么区别呢？
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1楼 2012-10-22 15:04:51
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dxf930

金虫 (正式写手)
★ ★ ★
risktaker111(金币+1): 谢谢参与
risktaker111: 金币+2, 谢谢 2012-10-24 16:24:40
1、单靶和双把的电源不同，所以功率不一样！工艺自己再摸索。
2、你单双靶所需要的靶材尺寸也不同的。
3、关键还是和你的材料有关系。冒昧的问一下你想镀什么？
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12楼2012-10-23 11:53:52
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