版块导航: 正在加载中...

客户端APP下载

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

risktaker111

金虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 105.4
帖子: 303
在线: 196.9小时
虫号: 1290575

[交流] 磁控溅射双靶与单靶在制备中的应用

磁控溅射双靶与单靶：
小弟最近要用磁控溅射设备制备薄膜，平时用的是单靶。但是，实验室其他人用的是双靶。如果把双靶换成单靶需要一定的时间，麻烦。
所以小弟想问一下，用双靶代替单靶制备薄膜是否可以呢？当然，薄膜会淀积成，但是有什么区别呢？

» 猜你喜欢

读博已经有5人回复
博士申请都是内定的吗？已经有6人回复
之前让一硕士生水了7个发明专利，现在这7个获批发明专利的维护费可从哪儿支出哈？已经有5人回复
博士读完未来一定会好吗已经有29人回复
投稿精细化工已经有4人回复
高职单位投计算机相关的北核或SCI四区期刊推荐，求支招！已经有4人回复
导师想让我从独立一作变成了共一第一已经有9人回复
心脉受损已经有5人回复
Springer期刊投稿求助已经有4人回复
小论文投稿已经有3人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

[求助]磁控溅射设备中的强磁靶接射频电源是否会对靶位造成损伤？已经有9人回复
磁控溅射腔室内的铝靶变质了急！急！急！已经有6人回复
关于磁控溅射靶材的颗粒已经有10人回复
有没有人用磁控溅射做过alpha-Fe2O3，用的靶材是什么已经有6人回复
射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题已经有10人回复
求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？已经有9人回复
射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？已经有5人回复
磁控溅射法合成材料，其中粉末制靶需要冷压，这个冷压操作怎么具体操作？已经有4人回复
【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？已经有9人回复
【求助】直流磁控溅射AlN薄膜的工艺条件，比如氮气流量、比例，镀膜气压？？靶电压？已经有6人回复
【求助】有买过Fe50Mn50磁控溅射靶的么？已经有3人回复
【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离已经有20人回复

» 抢金币啦！回帖就可以得到:
查看全部散金贴

1楼2012-10-22 15:04:51

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

yshit

木虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 1768.5
帖子: 163
在线: 198.1小时
虫号: 1645003

★
risktaker111(金币+1): 谢谢参与

LZ说的单靶和双靶的转换麻烦，是指换转盘吧。其实不用换成单靶，用双靶中的一个靶也能镀膜，就是溅射参数需要修改下，可能会耗靶材。

14楼2012-10-23 23:17:05

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

相关版块跳转我要订阅楼主 risktaker111 的主题更新