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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【交流】磁控溅射中阳极罩与靶材之间的距离选择
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zhongaihua

新虫 (小有名气)

[交流] 【交流】磁控溅射中阳极罩与靶材之间的距离选择 已有9人参与

本人刚开始用磁控溅射制备ZnO薄膜。我用的是射频源，非反应磁控溅射在普通硅酸盐玻璃衬底上制备ZnO薄膜。制备条件为：衬底加热100度，工作气压0.8pa，溅射功率200W，距离是8cm左右，自偏压是50V左右。溅射了一个小时左右，居然没有沉积出薄膜来，有没高人指点一下怎么回事呢？
      我怀疑是靶材上面的阳极罩与靶材之间的距离不对。我选用的是刚好不短路。请问有没人知道阳极罩与靶材之间的距离该怎么选择呢？大家一起来讨论一下吧
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1楼 2011-01-08 21:27:24
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a83875785

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
是不是参数需要再调下？
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2楼2011-01-09 00:13:03
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zhongaihua

新虫 (小有名气)
[quote]Originally posted by a83875785 at 2011-01-09 00:13:03:
是不是参数需要再调下？ [/quot

该怎么调呢？
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3楼2011-01-09 10:40:17
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zhangbin07

荣誉版主 (知名作家)

新虫 (初入文坛)

优秀版主优秀版主
有没有起辉啊
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If you can't take a few risks now so early in your career you probably never will.
4楼2011-01-09 18:35:12
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zhongaihua

新虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by zhangbin07 at 2011-01-09 18:35:12:
有没有起辉啊

起辉了，不过一般都是用另一个靶材点着的。
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5楼2011-01-09 19:34:28
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huhuhuhu

铁杆木虫 (著名写手)

大师兄
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
谁知道你那设备是啥样的，自己慢慢调着摸吧，新设备的话可以问供应商要点建议
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6楼2011-01-10 12:00:09
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nini_chen

银虫 (小有名气)
★
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靶材的具体尺寸多少？你这个参数肯定能是无法溅射的，自偏压太低了！
如果是靶材尺寸很大，那么就是你的功率太小了，如果尺寸不大，那怀疑你的靶出问题了！
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7楼2011-02-06 12:42:15
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
气压太高，降低气压到5mTorr以下。
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8楼2011-02-07 01:26:56
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songxiao111

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
靶间距过大，可调范围是40mm--70mm。
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9楼2011-05-16 11:03:45
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songxiao111

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
是靶基间距，你的是80mm,大于可调范围，应适当调小。
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10楼2011-05-18 10:50:18
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