应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【交流】磁控溅射中阳极罩与靶材之间的距离选择
121/2返回列表12下一页
查看: 2940  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

zhongaihua

新虫 (小有名气)

[交流] 【交流】磁控溅射中阳极罩与靶材之间的距离选择 已有9人参与

本人刚开始用磁控溅射制备ZnO薄膜。我用的是射频源，非反应磁控溅射在普通硅酸盐玻璃衬底上制备ZnO薄膜。制备条件为：衬底加热100度，工作气压0.8pa，溅射功率200W，距离是8cm左右，自偏压是50V左右。溅射了一个小时左右，居然没有沉积出薄膜来，有没高人指点一下怎么回事呢？
      我怀疑是靶材上面的阳极罩与靶材之间的距离不对。我选用的是刚好不短路。请问有没人知道阳极罩与靶材之间的距离该怎么选择呢？大家一起来讨论一下吧
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

有价值 呵呵

» 猜你喜欢
1楼 2011-01-08 21:27:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

a83875785

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
是不是参数需要再调下？
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2011-01-09 00:13:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhongaihua

新虫 (小有名气)
[quote]Originally posted by a83875785 at 2011-01-09 00:13:03:
是不是参数需要再调下？ [/quot

该怎么调呢？
赞一下 回复此楼
3楼2011-01-09 10:40:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhangbin07

荣誉版主 (知名作家)

新虫 (初入文坛)

优秀版主优秀版主
有没有起辉啊
回复此楼
If you can't take a few risks now so early in your career you probably never will.
4楼2011-01-09 18:35:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhongaihua

新虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by zhangbin07 at 2011-01-09 18:35:12:
有没有起辉啊

起辉了，不过一般都是用另一个靶材点着的。
赞一下 回复此楼
5楼2011-01-09 19:34:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huhuhuhu

铁杆木虫 (著名写手)

大师兄
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
谁知道你那设备是啥样的，自己慢慢调着摸吧，新设备的话可以问供应商要点建议
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2011-01-10 12:00:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nini_chen

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
靶材的具体尺寸多少？你这个参数肯定能是无法溅射的，自偏压太低了！
如果是靶材尺寸很大，那么就是你的功率太小了，如果尺寸不大，那怀疑你的靶出问题了！
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2011-02-06 12:42:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
气压太高，降低气压到5mTorr以下。
赞一下(1人) 回复此楼
8楼2011-02-07 01:26:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

songxiao111

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
靶间距过大，可调范围是40mm--70mm。
赞一下(1人) 回复此楼
9楼2011-05-16 11:03:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

songxiao111

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
是靶基间距，你的是80mm,大于可调范围，应适当调小。
赞一下(1人) 回复此楼
10楼2011-05-18 10:50:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 zhongaihua 的主题更新
121/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料专硕326求调剂 +5 墨煜姒莘 2026-03-15 5/250 2026-03-16 21:30 by 木瓜膏
[考研] 304求调剂 +4 ahbd 2026-03-14 4/200 2026-03-16 16:48 by 我的船我的海
[考研] 318求调剂 +3 Yanyali 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:41 by houyaoxu
[考研] 0703化学调剂 +6 妮妮ninicgb 2026-03-15 9/450 2026-03-16 16:40 by houyaoxu
[考研] 070303一志愿西北大学学硕310找调剂 +5 d如愿上岸 2026-03-12 8/400 2026-03-16 15:19 by peike
[教师之家] 焦虑 +7 水冰月月野兔 2026-03-13 9/450 2026-03-16 10:00 by Quakerbird
[考研] 327求调剂 +6 拾光任染 2026-03-15 11/550 2026-03-15 22:47 by 拾光任染
[考研] 复试调剂 +4 z1z2z3879 2026-03-14 5/250 2026-03-14 16:30 by JourneyLucky
[考研] 308 085701 四六级已过求调剂 +7 温乔乔乔乔 2026-03-12 14/700 2026-03-14 10:49 by JourneyLucky
[考研] 279求调剂 +3 抓着星星的女孩 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:47 by userper
[考研] 求调剂（材料与化工327） +4 爱吃香菜啦 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:11 by JourneyLucky
[考研] 求材料调剂 085600英一数二总分302 前三科235 精通机器学习 一志愿哈工大 +4 林yaxin 2026-03-12 4/200 2026-03-13 22:04 by 星空星月
[考研] 285化工学硕求调剂（081700） +6 柴郡猫_ 2026-03-12 6/300 2026-03-13 20:46 by hmn_wj
[考研] 26调剂/材料科学与工程/总分295/求收留 +9 2026调剂侠 2026-03-12 9/450 2026-03-13 20:46 by 18595523086
[考研] 332求调剂 +3 Zz版 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:36 by 18595523086
[硕博家园] 085600 260分求调剂 +3 天空还下雨么 2026-03-13 5/250 2026-03-13 18:46 by 天空还下雨么
[考研] 求调剂 +7 18880831720 2026-03-11 7/350 2026-03-13 16:10 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +7 ADT 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:17 by JourneyLucky
[考研] 0856化学工程280分求调剂 +4 shenzxsn 2026-03-11 4/200 2026-03-13 11:55 by ymwdoctor
[考研] 调剂 +5 呵唔哦豁 2026-03-10 5/250 2026-03-10 22:00 by 28375m
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭