| 查看: 3614 | 回复: 11 | |||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||||
zhongaihua新虫 (小有名气)
|
[交流]
【交流】磁控溅射中阳极罩与靶材之间的距离选择 已有9人参与
|
||||
|
本人刚开始用磁控溅射制备ZnO薄膜。我用的是射频源，非反应磁控溅射在普通硅酸盐玻璃衬底上制备ZnO薄膜。制备条件为：衬底加热100度，工作气压0.8pa，溅射功率200W，距离是8cm左右，自偏压是50V左右。溅射了一个小时左右，居然没有沉积出薄膜来，有没高人指点一下怎么回事呢？ 我怀疑是靶材上面的阳极罩与靶材之间的距离不对。我选用的是刚好不短路。请问有没人知道阳极罩与靶材之间的距离该怎么选择呢？大家一起来讨论一下吧 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 有价值 | 呵呵 |
» 猜你喜欢
售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急
已经有8人回复
-
售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急
已经有3人回复
-
明天应该可查了！？
已经有5人回复
-
如果此刻你正在为国基感到焦虑，不妨来听听这首《基金之外》
已经有7人回复
-
没有任何消息-是不是就凉了
已经有8人回复
-
售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
人气不行了
已经有10人回复
-
我面上完蛋了
已经有10人回复
-
能否退出参与的面上项目解除限项
已经有24人回复
-
filecode，4个jtjc了
已经有17人回复
zhongaihua
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 210.3
- 散金: 341
- 帖子: 287
- 在线: 119.9小时
- 虫号: 891618
- 注册: 2009-11-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
5楼2011-01-09 19:34:28
a83875785
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 3243.4
- 散金: 6062
- 红花: 3
- 帖子: 1344
- 在线: 419.7小时
- 虫号: 569374
- 注册: 2008-06-05
- 专业: 抗肿瘤药物药理
2楼2011-01-09 00:13:03
zhongaihua
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 210.3
- 散金: 341
- 帖子: 287
- 在线: 119.9小时
- 虫号: 891618
- 注册: 2009-11-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
3楼2011-01-09 10:40:17
huhuhuhu
铁杆木虫 (著名写手)
大师兄
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 5249.6
- 红花: 1
- 帖子: 1466
- 在线: 101.9小时
- 虫号: 530
- 注册: 2003-03-02
- 性别: GG
- 专业: 有机高分子功能材料
6楼2011-01-10 12:00:09
