| 查看: 2880 | 回复: 11 | |||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||||
zhongaihua新虫 (小有名气)
|
[交流]
【交流】磁控溅射中阳极罩与靶材之间的距离选择 已有9人参与
|
||||
|
本人刚开始用磁控溅射制备ZnO薄膜。我用的是射频源，非反应磁控溅射在普通硅酸盐玻璃衬底上制备ZnO薄膜。制备条件为：衬底加热100度，工作气压0.8pa，溅射功率200W，距离是8cm左右，自偏压是50V左右。溅射了一个小时左右，居然没有沉积出薄膜来，有没高人指点一下怎么回事呢？ 我怀疑是靶材上面的阳极罩与靶材之间的距离不对。我选用的是刚好不短路。请问有没人知道阳极罩与靶材之间的距离该怎么选择呢？大家一起来讨论一下吧 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 有价值 | 呵呵 |
» 猜你喜欢
退学或坚持读
已经有26人回复
-
面上基金申报没有其他的参与者成吗
已经有5人回复
-
有70后还继续奋斗在职场上的吗？
已经有5人回复
-
遇见不省心的家人很难过
已经有22人回复
-
博士延得我，科研能力直往上蹿
已经有5人回复
-
多组分精馏求助
已经有6人回复
zhongaihua
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 210.3
- 散金: 341
- 帖子: 287
- 在线: 119.9小时
- 虫号: 891618
- 注册: 2009-11-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
3楼2011-01-09 10:40:17
a83875785
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 3243.4
- 散金: 6062
- 红花: 3
- 帖子: 1344
- 在线: 419.7小时
- 虫号: 569374
- 注册: 2008-06-05
- 专业: 抗肿瘤药物药理
2楼2011-01-09 00:13:03
zhongaihua
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 210.3
- 散金: 341
- 帖子: 287
- 在线: 119.9小时
- 虫号: 891618
- 注册: 2009-11-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
5楼2011-01-09 19:34:28
huhuhuhu
铁杆木虫 (著名写手)
大师兄
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 5244.6
- 红花: 1
- 帖子: 1465
- 在线: 101.9小时
- 虫号: 530
- 注册: 2003-03-02
- 性别: GG
- 专业: 有机高分子功能材料
6楼2011-01-10 12:00:09