| 查看: 3638 | 回复: 11 | |||||
zhongaihua新虫 (小有名气)
|
[交流]
【交流】磁控溅射中阳极罩与靶材之间的距离选择 已有9人参与
|
|
本人刚开始用磁控溅射制备ZnO薄膜。我用的是射频源，非反应磁控溅射在普通硅酸盐玻璃衬底上制备ZnO薄膜。制备条件为：衬底加热100度，工作气压0.8pa，溅射功率200W，距离是8cm左右，自偏压是50V左右。溅射了一个小时左右，居然没有沉积出薄膜来，有没高人指点一下怎么回事呢？ 我怀疑是靶材上面的阳极罩与靶材之间的距离不对。我选用的是刚好不短路。请问有没人知道阳极罩与靶材之间的距离该怎么选择呢？大家一起来讨论一下吧 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 有价值 | 呵呵 |
» 猜你喜欢
国合现在查不到了吗？
已经有16人回复
-
牛来！米来！面来！
已经有8人回复
-
2026年8月25日国自然放榜前突然收到列入评审专家邮件，有关系吗？
已经有27人回复
-
范进中举一文的中心思想
已经有9人回复
-
2026国自然函评费到账
已经有24人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有5人回复
-
售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急
已经有6人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有5人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急
已经有4人回复
-
今天务委会开完了，明天出结果吗
已经有22人回复
a83875785
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 3243.4
- 散金: 6062
- 红花: 3
- 帖子: 1344
- 在线: 419.7小时
- 虫号: 569374
- 注册: 2008-06-05
- 专业: 抗肿瘤药物药理
2楼2011-01-09 00:13:03
zhongaihua
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 210.3
- 散金: 341
- 帖子: 287
- 在线: 119.9小时
- 虫号: 891618
- 注册: 2009-11-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
3楼2011-01-09 10:40:17
zhangbin07
荣誉版主 (知名作家)
新虫 (初入文坛)
- 应助: 17 (小学生)
- 贵宾: 3.155
- 金币: 3563.6
- 散金: 11558
- 红花: 51
- 沙发: 40
- 帖子: 9961
- 在线: 789.8小时
- 虫号: 531997
- 注册: 2008-03-24
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
- 管辖: 公派出国
4楼2011-01-09 18:35:12
zhongaihua
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 210.3
- 散金: 341
- 帖子: 287
- 在线: 119.9小时
- 虫号: 891618
- 注册: 2009-11-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
5楼2011-01-09 19:34:28
huhuhuhu
铁杆木虫 (著名写手)
大师兄
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 5249.6
- 红花: 1
- 帖子: 1466
- 在线: 101.9小时
- 虫号: 530
- 注册: 2003-03-02
- 性别: GG
- 专业: 有机高分子功能材料
6楼2011-01-10 12:00:09
7楼2011-02-06 12:42:15
cord 
铁杆木虫 (著名写手)
- 物理EPI: 1
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
8楼2011-02-07 01:26:56
9楼2011-05-16 11:03:45
10楼2011-05-18 10:50:18
28