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haidong9058

金虫 (职业作家)

[交流] 磁控溅射硅的颜色已有3人参与

请问大家,利用直流源磁控溅射硅,基片上得到硅膜的颜色是褐色的,是怎么回事?以前我得到是蓝黑色的,不过这次溅射时间短。
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
华丽的飘过: 金币+1, 3q 2013-09-14 02:00:08
楼主翻翻光学里等厚干涉就明白了,就是不同厚度不同颜色!
趁年轻,多折腾!曾年轻,折腾过?!
2楼2013-08-30 04:36:05
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halfmoon123

木虫 (小有名气)

这么大一个笨蛋


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
楼主我不懂诶,半导体还能用直流磁控溅射?
你猜我猜不猜
3楼2013-08-30 22:05:18
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亨利_先生

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by halfmoon123 at 2013-08-30 22:05:18
楼主我不懂诶,半导体还能用直流磁控溅射?

估计是硅靶?
似是故人来
4楼2013-08-31 10:47:49
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