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haidong9058

金虫 (职业作家)

[交流] 磁控溅射硅的颜色 已有3人参与

请问大家,利用直流源磁控溅射硅,基片上得到硅膜的颜色是褐色的,是怎么回事?以前我得到是蓝黑色的,不过这次溅射时间短。
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